激光干涉位移传感器激光干涉仪:超精密皮米位移传感器可实时测量位移、运动和振动,并具有10MHz的数据带宽。一个控制器可连接三个传感测头。
认证精度稳定的激光源可确保在纳米范围内获得认证的重复性和准确性。PTB(德国联邦物理技术研究院)已正式测试井证明了lDS3010的高精度。此外,每个IDS3010都是NIST可追踪的。大距离范围IDS3010够进行从几毫米到30m的动态位移测量。高达10Mhz的高带宽,即使在远距离情况下也可以进行振动检测。紧凑和模块设计IDS3010控制器和传感器头的基于光纤的微型化设计允许集成到空间受限的系统中。它的模块化使更换和重新安排变得容易。真空兼容传感头和光纤甚至可以在极端环境下工作,例如高真空,超高真空,低温或辐射恶劣的环境。 机械手表:用于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°;高达±88°的漫反射。黑龙江线光谱共焦传感器精度
什么是光谱共焦干涉仪?非接触式轮廓测量技术中的测量精度,通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰,开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统,干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。
光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。 江苏非接触式传感器应用案例马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,有想法的不要错过哦!
优势
•■非接触三维表面轮廓测量•
■噪音小,测量重复性好•
■纳米级分辨率:Z轴分辨率比较高可达0.1nm•
■测量的点云数多:一个面**多可以达到500万个点•
■点间距小,XY分辨率高•
■多种视野范围可供选择,快速切换物镜变换视野•
■测量速度快,可实现在线测量
技术特点
1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下,波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中,干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同,根据光的波动性与同调性,所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同,各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息
而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜,返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上,小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱,也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强,在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面,需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅,可以根据反射光的波长,增强或减弱折射率。因此,CCD矩阵上的每一个位置,对应一个测量物体到探头的距离。马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,有需求可以来电咨询!
光谱共焦位移传感器
■外形尺寸测量
■空气夹层测量
■厚度(透明物体)测量
■段差高度(非透明物体)测量
■外形轮廓测量
■表面型貌测量
■表面粗糙度测量
■表面微小划痕测量
■三维测量
■平面度测量
优势•
■高分辨率,比较高可达纳米级•
■高精度,比较高可达16纳米•
■同轴光测量,相比较三角反射测量,无测量盲区•
■可以测量几乎所有材料的表面,不论是漫反射表面,或者是高光亮面,或者是透明物体表面•
■物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响,可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体•
■可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度 非接触式测量,一体化设计,3D轮廓扫描,多功能数据处理适用于各种材料的精确测量。安徽马波斯传感器测量范围
使用亚微米级分辨率测量微流体每秒可测量360,000点。黑龙江线光谱共焦传感器精度
行业内测距传感器有哪些?
常用的测距传感器有超声波测距传感器、激光测距传感器、红外线测距传感器、毫米波雷达传感器。 超声测离传感器,精度厘米级,量程不大,对被测物面积有要求,用于物位较多激光测中传感器,精度豪米级,量程很大,阳光对测距有影响,用于远距离变形监测。
超声波传感器是一种利用超声波的特性研制而成的传感器。超声波是一种振动频率高于声波的机械波,由换能晶片在电压的激励下发生振动产生的,它具有波长短、绕射现象小、方向性好、等特点。2.激光传感器主要是利用飞行时间方法来测量距离。 黑龙江线光谱共焦传感器精度
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