江西光谱共焦视觉检测传感器原理

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。

对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，有想法可以来我司咨询！江西光谱共焦视觉检测传感器原理

部分案例应用领域：

非常适合测量距离、半径、角度、弧度等尺寸的检测。适用于电子、机械加工、五金、塑料加工、汽车等行业。常见的工件包括冲压成型件、注射成型件或激光切割件。

一键测量闪测仪是一种新型的影像测量技术，它和传统的二次元影像测量仪不同的是它不再需要光栅尺位移传感器作为精度标，也不要经过大焦距的镜头经过放大产品影像来保障测量精度。

传统测量工具多年来精密测量业里流行着这么一句话：影像测量仪是传统投影仪的替代产品，影像测量仪将取代传统投影仪。如今我们将再一次打破传统，闪测仪将取代影像测量仪和传统投影仪。一键测量闪测仪技术参数表格 3D 视觉测量传感器膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控，非接触测量，适用于易变形和不透明的材料较小厚度测量5µm。

光谱共焦线传感器由180个点组成，可以测量距离 厚度 粗糙度 形状 高分辨率 各种材料适用于各种行业。

适用于各种材料金属(抛光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同轴性无阴影影响精度&分辨率亚微米级精度，Z轴纳米级分辨率被动式(低温、易爆环境)测量区域外的热源和电源大角度镜面可达45°速度比点传感器快180倍

光谱共焦视觉检测相机，AOI彩色共焦线相机检测系统：自动光学检测，可以测量尺寸 高分辨率 各种材料适用于各种行业。

工业 4.0

100%在线自动测量与质量控制柔性系统，高速可达12m/s3D形状/轮廓测量多达6轴汽车挡风玻璃HUD多点厚度测量*需4秒

高分辨率的直角坐标机械手：±0.05mm3到5轴3D形状和/或多点厚度测量：±0.05mm重复性适用任何反射表面

3D系统致力于粗糙度，3D形貌测量3个高分辨率电动轴(X；Y；Z)：±0.001mm3大尺寸选择：100x100mm2；200x200mm2；300x300m2…可与STIL传感器配套使用，并集成了点、线、相机的3D软件系统

亚微米级轴向分辨率薄涂层和空气间隙测量：小于1微米

多个产品同时测量减少成本测量对象可任意摆放，多个产品可同时测量，**节省测量时间，减少用工成本！

低畸变图像无变形即便在镜头边缘部位测量，图像畸变也很小，无需担心测量对象所放位置。

缺陷过滤测量位置包含有毛边或缺陷时系统能自动识别，排除异常点提高测量的准确度。

数据追溯管理更简单测量结果自动保存，可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索，数据追溯管理简单。测量结果自动保存，可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索，数据追溯管理简单。检测报告及统计报告都可通过一键完成制作，无需数据传输及电脑输入等繁琐的过程，支持多种格式。 STIL光谱共焦传感器对被测物体表面颜色和光洁度无特殊要求，无论物体表面是漫反射或高光面，甚至是镜面。

什么是光谱共焦？光学传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理，我们的传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。用于工业环境中的设计，STIL传感器的各系列，吸引集成器与测量检测机器轻松连接，这归功于为每台仪器提供的动态链接库（DLL）

光学原理我们的光学传感器基于高度创新的共焦彩色成像原理。入射的白光***通过彩色物镜成像为沿Z轴的连续单色图像，从而沿光轴提供“颜色编码”反向散射的光束通过过滤***进入光谱仪，该光谱仪确定波长已完全聚焦于物体上，然后精确地确定其在测量场的位置。共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。 光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技。Marposs 传感器技术

马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，期待为您！江西光谱共焦视觉检测传感器原理

Irix ™ 彩色共焦技术™ 适用于多种应用领域：

汽车玻璃玻璃容器与包装工业电子工业（PCB）

半导体工业（硅片）用于测量卷对卷、透明和非透明薄膜（例如EV电池盖）的

应用3C行业电动汽车工业（

电池）

机器人学

微观力学

医学

航空

手表

用于轮廓测量的倾斜角度高达±45°的光学元件用于缩小尺寸设备的缩小直径为4毫米、6毫米和8毫米的光学元件7“集成显示器，具有易于使用的实验室用图形界面2个同步通道，用于卷对卷应用中的非透明目标厚度测量同步测量与编码器精确轮廓重建。3个编码器输入（TTL和HTL型号）2个模拟输出（0÷10V）多达32个校准图以CSV格式保存数据 江西光谱共焦视觉检测传感器原理

马波斯（上海）测量设备科技有限公司致力于机械及行业设备，以科技创新实现高质量管理的追求。马波斯工业测量拥有一支经验丰富、技术创新的专业研发团队，以高度的专注和执着为客户提供机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件。马波斯工业测量致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心，为用户带来良好体验。马波斯工业测量始终关注机械及行业设备市场，以敏锐的市场洞察力，实现与客户的成长共赢。