光谱共焦传感器解决方案

优势

•￭非接触三维表面轮廓测量•

￭噪音小，测量重复性好•

￭纳米级分辨率：Z轴分辨率比较高可达0.1nm•

￭测量的点云数多：一个面**多可以达到500万个点•

￭点间距小，XY分辨率高•

￭多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野•

￭测量速度快，可实现在线测量

技术特点

1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下，波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中，干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同，根据光的波动性与同调性，所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同，各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息 汽车挡风玻璃质量控制, 大工作距离和大景深的点传感器适用于车间环境，对3D形状、轮廓、HUD的多层厚度测量。光谱共焦传感器解决方案

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。

对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 光谱共焦视觉检测传感器精度马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，欢迎您的来电！

光谱共焦位移传感器

￭外形尺寸测量

￭空气夹层测量

￭厚度(透明物体)测量

￭段差高度(非透明物体)测量

￭外形轮廓测量

￭表面型貌测量

￭表面粗糙度测量

￭表面微小划痕测量

￭三维测量

￭平面度测量

优势•

￭高分辨率，比较高可达纳米级•

￭高精度，比较高可达16纳米•

￭同轴光测量，相比较三角反射测量，无测量盲区•

￭可以测量几乎所有材料的表面，不论是漫反射表面，或者是高光亮面，或者是透明物体表面•

￭物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响，可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体•

￭可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度

压力传感器:是工业实践中常用的一种传感器,广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。7.激光传感器:利用激光技术进行测量的传感器,应用于生产、医学和非电测量等。8.MEMS传感器:包含硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器,广泛应用于生产、医学和非电测量等。

红外线传感器:利用红外线的物理性质来进行测量的传感器,常用于无接触温度测量、气体成分分析和无损探伤,应用在医学、空间技术和环境工程等。 用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。

航空航天属于高精尖技术领域，技术对安全性要求极高，因此航空航天部件的制造生产中对产品工艺和质量的要求是极为苛刻的。这是司逖光谱共焦传感器在飞机多层玻璃厚度检测方面的运用:

飞机多层玻璃厚度测量

光谱共焦传感器信号灯

为了方便用户实时了解传感器的运行状态，光谱共焦传感器的面板上共有六组信号灯，分别从电源、USB连接、测量头连接、测量状态等四个方面呈现传感器的实际情况。电源、USB连接和测量头连接以LED信号指示灯显示，在传感器开启电源后，上述三个LED信号灯为绿色，表明传感器已可以准备正常工作。 马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，有需要可以联系我司哦！黑龙江光谱共焦传感器原理

马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，有想法的可以来电咨询！光谱共焦传感器解决方案

半导体行业

材料强国是科技强国的基础，第三代半导体材料扮演着愈发关键的角色，也正日益成为国际、国内科技和产业竞争的**领域之一。我国精密加工技术和配套能力进步迅速，已经具备开发并且逐步主导第三代半导体装备的能力。全国多地积极响应，促进地方产业转型升级。

该微电子产业发展政策，针对第三代半导体企业购买IP、参与研发多项目晶圆等做出了详细的扶持说明。深圳正实施新一轮创新发展战略布局，机器人、无人驾驶、等新兴产业日新月异，坪山区将依托5G试点，建设第三代半导体产业集聚区。 光谱共焦传感器解决方案

马波斯（上海）测量设备科技有限公司是一家贸易型类企业，积极探索行业发展，努力实现产品创新。公司是一家有限责任公司企业，以诚信务实的创业精神、专业的管理团队、踏实的职工队伍，努力为广大用户提供高品质的产品。公司拥有专业的技术团队，具有机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件等多项业务。马波斯工业测量顺应时代发展和市场需求，通过高端技术，力图保证高规格高质量的机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件。