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半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿发布   半导体管特性图示仪校准仪是校准半导体管特性图示仪的**校准仪器。目前主要有两种类型：阶梯归一化图示仪校准仪和阶梯采样测量图示仪校准仪。9月29日，全国无线电计量技术委员会发布了《半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿，并向全国的计量机构、科研院所等单位征求意见。该规范根据一系列计量准则制定，对仪器的术语、校准规范、校准方法等进行规范，有助于该仪器测量过程中规范使用，真空计保证测量数据的准确性。使用电离规时，按电离真空计操作执行。EDKORS真空计厂家批发价

在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。本地真空计安装真空计利用气体在低压力下的热传导、电离、粘滞性和应变等物理特性与压力的关系间接测量气体压力。

结构组成播报编辑复合真空计包含热偶规管与电离规管两个**组件：热偶规管采用玻璃外壳，内部设有V形加热丝和倒V形镍铬-镍硅热电偶，通过测量加热丝温度变化推算压强电离规管为三极管结构，包含钨制灯丝、螺旋栅极和筒状收集极，灯丝发射电子经栅极加速后电离气体分子 [4]部分型号（如ZDF-1A/B）还集成金属电阻规，形成三通道测量系统。设备控制系统内置微处理器，实现AD高速转换和误差修正功能 [1]。复合真空计是将热偶真空计和热阴极电离真空计组合而成的宽量程真空测量设备，测量范围覆盖大气压至10⁻⁵Pa

技术参数播报编辑根据2012年发布的ZDF-1A/B型说明书，热偶真空计、热阴极电离真空计及金属电阻规三种测量通道组合构成，覆盖105~10-6Pa的真空范围测量，主要技术指标包括 [1]：热偶规测量范围：3.0×10²~1.0×10⁻¹Pa（ZJ-54D型）电离规测量范围：5~1.0×10⁻⁶Pa（ZJ-27型）或26~1.0×10⁻⁴Pa（ZJ-10型）发射电流调节范围：50μA至5mA阳极电压：225V（ZDF-1A型）继电器触点容量：220V AC/3A。使用复合真空计需遵循特定操作要求 [1]：真空系统放气前必须切换至热偶计或电阻规通道，防止电离规管暴露于高压空气电离规灯丝只能在压强低于1Pa时启动，避免氧化烧毁定期校准热偶规加热电流，标准值为95-105mA（具体数值依据规管型号）安装时电离规管轴线应与地面垂直，倾斜角度不得超过30°真空计是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。

    这些真空泵按工作原理大致可以分为两类。一类是真空计将气体不断吸入并排出体外的泵，例如机械泵、涡轮分子泵；一类是将气体分子吸附在内壁上的泵，例如钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵。不管工作原理如何，这些泵的**终目的都是减少腔体内的气体分子数。由于不同泵的构造不同，每种泵都有自己的工作区间，只有在一定的压强范围内才可以正常工作，否则就会损坏。不同泵的工作压强区间如下图所示。从上图我们可以看出，要达到超高真空，只用一种泵是无法实现的，需要不同种类的泵接力，像极了我们做科研的过程，不是吗？团队合作。在实验室，我们先用机械泵抽到粗真空，再打开分子泵抽到高真空，**后用离子泵或者钛升华泵抽到实验所需的真空状态。 热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。设备真空计价格大全

真空计用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压，是一种使用的仪表。EDKORS真空计厂家批发价

真空计，又名真空表，是测量真空度或气压的仪器，其工作原理主要基于气体在真空条件下的物理效应变化。以下是真空计的分类及原理的详细介绍：一、分类按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类：利用力学性能的真空计：波尔登规（Bourdon）：利用细的铜管受气体压力舒展现象，带动杠杆和齿轮旋转，使指针指示在不同刻度上，读出相应的气压值。其测量范围一般在100Pa至1atm。薄膜电容规：利用不同压力下金属膜片受力变形，导致金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量得知气压变化。这种规的优点是灵敏度很高，但必须在高于环境温度的恒温条件下使用，并需要预热数小时。EDKORS真空计厂家批发价