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热偶真空计◇工作原理与测量范围热偶真空计使用热丝与热电偶组合间接测量真空度。其测量范围在10-2至103Pa之间。热偶真空计包含加热灯丝与热电偶，通过测量热偶电动势来确定真空度。在测量过程中，灯丝通以恒定电流，热量的部分会在灯丝与热偶丝之间传导。影响测量结果的因素热偶真空计的测量结果受气体种类及温度变化影响。此外，热丝可能会因氧化导致零点漂移，从而带来测量误差。因此，在进行测量时，需根据气体种类进行相应的修正，使用者应定期调整加热电流，并重新校正电流值。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。本安型真空计平台

在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。固定式真空计推荐咨询所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分.否则会对真空计造成很大误差。

技术参数播报编辑根据2012年发布的ZDF-1A/B型说明书，热偶真空计、热阴极电离真空计及金属电阻规三种测量通道组合构成，覆盖105~10-6Pa的真空范围测量，主要技术指标包括 [1]：热偶规测量范围：3.0×10²~1.0×10⁻¹Pa（ZJ-54D型）电离规测量范围：5~1.0×10⁻⁶Pa（ZJ-27型）或26~1.0×10⁻⁴Pa（ZJ-10型）发射电流调节范围：50μA至5mA阳极电压：225V（ZDF-1A型）继电器触点容量：220V AC/3A。使用复合真空计需遵循特定操作要求 [1]：真空系统放气前必须切换至热偶计或电阻规通道，防止电离规管暴露于高压空气电离规灯丝只能在压强低于1Pa时启动，避免氧化烧毁定期校准热偶规加热电流，标准值为95-105mA（具体数值依据规管型号）安装时电离规管轴线应与地面垂直，倾斜角度不得超过30°

真空计广泛应用于气体输送、管道液体及密闭容器中测量无腐蚀性、无危险、无结晶体、不凝固体的各种液体、气体、蒸汽等介质的压力大小。特别是在半导体制造、光伏产业、纳米技术研发、生物医学研究以及航空航天等领域，真空压力计发挥着至关重要的作用，为产品的质量控制和研发创新提供了有力支持。四、特点与优势高精度：能够准确反映真空系统的压力状况。稳定性好：在长时间使用过程中保持测量结果的准确性。操作便捷：特别是对于数字式真空压力计，直接读取数字显示的压力值，操作更为简单直观。应用范围广：不仅适用于科研和工业生产中的真空测量，也适用于真空设备的检测和维护。真空计测量精度较高，主要用作基准量具。

二电气设备配电系统：配电盘、开关箱、变压器、断电器、接触器、保险丝、电缆、发电机、绕组装备、油枕、UPS等。三机电设备通用机电设备：传送带检测、电机检测、阀门检测、法兰泄露检测、管道检测、冷凝阀、压缩机、轴承检测等。冶金加热设备：钢包、高炉风口、高炉冷却壁、高炉衬检测、高炉送风支管检测、焦炉连铸板坯、热风炉、热风炉拱顶检测、退火炉、鱼雷罐车、转炉炉衬等。石化**设备：蒸馏塔、储罐液位检测、反应器、换热器等。轨道交通专业设备：接触网检测、电力机车车头检测、高架箱梁渗水检测、高铁高价桥梁防水层检测、黑体炉检测、接触网检测、轮轴温度检测等。真空计测量范围压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。设备真空计口碑好

零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。本安型真空计平台

不同类型真空计（如皮拉尼、电离、冷阴极）的**区别在于其测量原理基于的物理效应不同，这些效应决定了它们的适用范围、精度、响应速度及对气体种类的敏感性。以下是具体分析：1.皮拉尼真空计（PiraniGauge）原理：基于热传导效应。传感器为金属丝（如钨或铂），通电后发热。气体分子密度（即真空度）影响热传导效率：高真空时，气体分子少，热传导主要依赖残余气体，金属丝温度较高，电阻增大。低真空时，气体分子多，热传导增强，金属丝温度降低，电阻减小。通过测量金属丝电阻变化推算真空度。特点：量程：通常为10本安型真空计平台