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吉林硫化氢固定式气体检测仪工厂

来源: 发布时间:2025年12月04日

固定式气体检测仪在第三代半导体氮化铝(AlN)外延车间能检测哪些气体?氮化铝外延生长需通入氨气(氮源)、氢气(还原气氛),斯柯森 SKSG-DZ 系列固定式气体检测仪可检测:氨气(0-100ppm)、氢气(0-100% LEL)、氧气(0-30% VOL)。设备采用本质安全型设计(Ex iaⅡC T4),安装在反应腔周边和气体管路,传感器抗氨气腐蚀(表面涂覆氮化铝涂层);支持与气体输送系统联动,氨气超 50ppm 时自动关闭气源并氮气吹扫,符合《氮化铝半导体生产安全规范》,保障外延工艺稳定与设备安全。人性化设计,提供更好的用户体验。吉林硫化氢固定式气体检测仪工厂

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固定式气体检测仪在电子级三氟化砷(AsF₃)气体纯化车间能检测哪些杂质?电子级三氟化砷(半导体掺杂气体)纯化需控制 ppb 级杂质,斯柯森 SKSG-DZ 系列固定式气体检测仪采用激光吸收光谱技术,可检测:氟化氢(0-10ppb)、水(0-20ppb)、氧气(0-20ppb)。设备采样系统为全氟材质(PFA 管路 + 金属氟化物密封),避免杂质溶出;安装在纯化柱出口和超净分装区,支持与纯化系统联动,氟化氢超 5ppb 时自动切换备用纯化柱;水含量超 10ppb 时,启动分子筛干燥,确保三氟化砷纯度满足半导体掺杂要求(杂质<50ppb),符合 SEMI C88-0301 电子级气体标准,保障芯片制造过程中掺杂精度。甘肃VOC固定式气体检测仪是什么为什么选斯柯森?因为我们专注气体检测多年。

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固定式气体检测仪在核电厂应急柴油机机房能检测哪些气体?核电厂应急柴油机(停电时供电)运行会产生一氧化碳(燃油不完全燃烧)、柴油蒸气(泄漏),且机房需监测氧气(防止缺氧),斯柯森 SKSG-HF 系列固定式气体检测仪可检测:一氧化碳(0-2000ppm)、柴油蒸气(0-100% LEL)、氧气(0-30% VOL)。设备采用抗振动设计(10-2000Hz 振动测试合格),适应柴油机运行时的振动环境;安装在机房通风口和柴油管路,支持与柴油机控制系统联动,柴油蒸气超 25% LEL 时自动切断燃油供应;一氧化碳超 500ppm 时,启动机房排风,符合《核电厂应急柴油机机房设计规范》,确保应急供电系统可靠运行。

固定式气体检测仪在第三代半导体氧化镓(Ga₂O₃)外延车间能检测哪些气体?氧化镓外延生长需通入氧气(氧化气氛)、氢气(还原气氛),且可能使用三甲基镓(Ga 源),斯柯森 SKSG-DZ 系列固定式气体检测仪可检测:氢气(0-100% LEL)、三甲基镓(0-1ppm,激光传感器)、氧气(0-30% VOL)。设备采用惰性气体吹扫采样系统(充氮气),避免三甲基镓与空气反应自燃;安装在反应腔周边和气体管路接口,支持与气体切断阀联动,三甲基镓超 0.5ppm 时立即关闭气源并氮气吹扫,符合《氧化镓半导体生产安全规范》,保障外延晶圆制备安全与纯度。自动故障诊断,减少人工排查时间。

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固定式气体检测仪在锂离子电池用磷酸锰铁锂正极材料生产车间能检测哪些气体?磷酸锰铁锂正极材料生产中,锂源与磷酸反应可能产生二氧化碳,焙烧过程产生一氧化碳,斯柯森 SKSG-DJ 系列固定式气体检测仪可检测:二氧化碳(0-50000ppm)、一氧化碳(0-2000ppm)、粉尘浓度(0-1000g/m³)。设备采样口加装防粉尘滤网,安装在混料和焙烧窑出口,支持与脱硫除尘系统联动,粉尘浓度超 50g/m³ 时启动布袋除尘器;一氧化碳超 100ppm 时调整焙烧炉氧气供应量,符合《锂离子电池正极材料生产污染物排放标准》,减少粉尘与有害气体排放。准确测量气体浓度,误差低于行业标准。江西VOC固定式气体检测仪是什么

灵活的安装方式,适应不同的现场需求。吉林硫化氢固定式气体检测仪工厂

固定式气体检测仪在氧化镓(Ga₂O₃)半导体材料生产车间能检测哪些气体?氧化镓半导体生产中,气相沉积工艺使用的三甲基镓(Ga (CH₃)₃)会挥发金属有机气体,且可能产生甲烷(副产物),斯柯森 SKSG-DZ 系列固定式气体检测仪可检测:三甲基镓(0-1ppm,激光传感器)、甲烷(0-100% LEL)、氢气(0-100% LEL,还原气氛)。设备采用惰性气体吹扫采样系统(充氮气),避免三甲基镓与空气反应自燃;安装在沉积炉和气体管路接口,支持与气体切断阀联动,三甲基镓超 0.5ppm 时立即关闭气源并氮气吹扫,符合《第三代半导体材料生产安全规范》,保障氧化镓晶圆制备安全与纯度。吉林硫化氢固定式气体检测仪工厂