苏州自动化异质结PECVD

太阳能异质结电池工艺 1.清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层，并且在表面进行制绒，以形成绒面结构达到陷光效果，减少反射损失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉积。通过CVD方式在正面/背面分别沉积5~10nm的本征a-Si:H，作为钝化层，然后再沉积掺杂层；3.正面/背面TCO沉积。通过PVD在钝化层上面进行TCO薄膜沉积；4.栅线电极。通过丝网印刷进行栅线电极制作；5.烘烤(退火)。通过丝网印刷进行正面栅线电极制作，然后通过低温烧结形成良好的接触；6.光注入。7.电池测试及分选。中国在光伏异质结技术的研发和应用方面处于优势地位，拥有众多出名企业和研究机构。苏州自动化异质结PECVD

异质结（Heterojunction with Intrinsic Thin-layer，HJT）电池为对称的双面结构，主要由 N 型单晶硅片衬底、正面和背面的本征/掺杂非晶硅薄膜层（包括 N 型非晶硅薄膜 n-a-Si:H、本征非晶硅薄膜 i-a-Si:H 和 P 型非晶硅薄膜 p-a-Si:H）、双面的透明导电氧化薄膜(TCO) 层和金属电极构成。其中，本征非晶硅层起到表面钝化作用，P型掺杂非晶硅层为发射层，N 型掺杂非晶硅层起到背场作用。HJT是很有潜力优势的技术，在将来HJT电池与钙钛矿技术进行复合叠层，突破转换效率30%成为可能。广东国产异质结设备哪家好光伏异质结与钙钛矿太阳能电池的结合，进一步提高了太阳能电池的转换效率。

太阳能异质结是一种新型的太阳能电池技术，与传统的硅晶体太阳能电池和薄膜太阳能电池相比，具有以下优势：1.高效率：太阳能异质结电池的转换效率可以达到22%以上，比传统的硅晶体太阳能电池和薄膜太阳能电池高出很多。2.薄型化：太阳能异质结电池可以采用非晶硅材料制造，因此可以制造出非常薄的电池，适用于一些需要轻便、柔性的应用场景。3.稳定性：太阳能异质结电池的稳定性比传统的硅晶体太阳能电池和薄膜太阳能电池更好，可以在高温、低光等环境下保持较高的转换效率。4.成本：太阳能异质结电池的制造成本相对较低，因为它可以采用较简单的制造工艺，而且材料成本也比传统的硅晶体太阳能电池和薄膜太阳能电池低。总的来说，太阳能异质结电池是一种非常有前途的太阳能电池技术，具有高效率、薄型化、稳定性和低成本等优势，可以广泛应用于太阳能发电、光伏建筑等领域。

异质结电池（HJT电池）的特点和优势1、无PID现象由于电池上表面为TCO，电荷不会在电池表面的TCO上产生极化现象，无PID现象。同时实测数据也证实了这一点。异质结太阳能电池的技术应用与前景2、低温制造工艺HJT电池所有制程的加工温度均低于250，避免了生产效率低而成本高的高温扩散制结的过程，而且低温工艺使得a-Si薄膜的光学带隙、沉积速率、吸收系数以及氢含量得到较精确的控制，也可避免因高温导致的热应力等不良影响。3、高效率HJT电池一直在刷新着量产的电池转换效率的世界纪录。HJT电池的效率比P型单晶硅电池高1-2%，而且之间的差异在慢慢增大。4、高光照稳定性异质结太阳能电池的技术应用与前景在HJT太阳能电池中不会出现非晶硅太阳能电池中常见的Staebler-Wronski效应。同时HJT电池采用的N型硅片，掺杂剂为磷，几乎无光致衰减现象。5、可向薄型化发展HJT电池的制程温度低，上下表面结构对称，无机械应力产生，可以顺利实现薄型化；另外经研究，对于少子寿命较高（SRV<100cm/s）的N型硅基底，片子越薄可以得到越高的开路电压。异质结电池功率高,双面率高,工序短,低温工艺,温度系数低,衰减低等。

异质结电池所有制程的加工温度均低于250，避免了生产效率低而成本高的高温扩散制结的过程，而且低温工艺使得a-Si薄膜的光学带隙、沉积速率、吸收系数以及氢含量得到较精确的控制，也可避免因高温导致的热应力等不良影响。釜川（无锡）智能科技有限公司，以半导体生产设备、太阳能电池生产设备为主要产品，打造光伏设备一体化服务。拥有强大的科研团队，凭借技术竞争力，在清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、电镀铜设备等方面都有独特优势；以高效加工制造、快速终端交付的能力，为客户提供整线工艺设备的交付服务。零界高效异质结电池整线设备，可延伸至钙钛矿叠层及IBC等技术。浙江专业异质结镀膜设备

异质结电池采用的N型硅片，掺杂剂为磷，几乎无光致衰减现象。苏州自动化异质结PECVD

光伏高效异质结电池整线解决方案，产业机遇：方向清晰：HJT技术工艺流程短、功率衰减低、输出功率稳定、双面发电增益高、未来主流技术方向；时间明确：HJT平均量产效率已超过PERC瓶颈（25%），行业对HJT电池投入持续加大，电池商业化已逐渐成熟；机遇可期：设备与耗材是HJT规模化的关键，降本增效是不变的主题，具备HJT整线整合能力的供应商优势明显。当前HJT生产成本约：硅片占比约50%，银浆占比约25%，靶材约6%左右；当前HJT设备成本约：清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、丝网印刷，设备投资额占比分别约10%、50%、25%和15%。苏州自动化异质结PECVD