杭州釜川异质结装备供应商

异质结HJT电池TCO薄膜的方法主要有两种：RPD（特指空心阴极离子镀)和PVD(特指磁控溅射镀膜)；l该工艺主要是在电池正背面上沉积一层透明导电膜层，通过该层薄膜实现导电、减反射、保护非晶硅薄膜的作用，同时可以有效地增加载流子的收集；l目前常用于HJT电池TCO薄膜为In2O3系列，如ITO（锡掺杂In2O3，@PVD溅射法）、IWO（钨掺杂In2O3，@RPD方法沉积）等。HJT电池具备光电转化效率提升潜力高、更大的降成本空间。零界高效异质结电池整线解决方案，实现设备国产化，高效高产PVD DD CVD。光伏异质结的应用领域不断扩大，包括但不限于家庭、商业、工业、农业等领域。杭州釜川异质结装备供应商

光伏高效异质结电池整线解决方案，产业机遇：方向清晰：HJT技术工艺流程短、功率衰减低、输出功率稳定、双面发电增益高、未来主流技术方向；时间明确：HJT平均量产效率已超过PERC瓶颈（25%），行业对HJT电池投入持续加大，电池商业化已逐渐成熟；机遇可期：设备与耗材是HJT规模化的关键，降本增效是不变的主题，具备HJT整线整合能力的供应商优势明显。当前HJT生产成本约：硅片占比约50%，银浆占比约25%，靶材约6%左右；当前HJT设备成本约：清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、丝网印刷，设备投资额占比分别约10%、50%、25%和15%。合肥高效异质结薄膜高效异质结电池PECVD设备是制备微晶硅的设备，其工艺机理复杂，影响因素众多，需要专业公司制备。

异质结电池工艺 1.清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层，并且在表面进行制绒，以形成绒面结构达到陷光效果，减少反射损失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉积。通过CVD方式在正面/背面分别沉积5~10nm的本征a-Si:H，作为钝化层，然后再沉积掺杂层；3.正面/背面TCO沉积。通过PVD在钝化层上面进行TCO薄膜沉积；4.栅线电极。通过丝网印刷进行栅线电极制作；5.烘烤(退火)。通过丝网印刷进行正面栅线电极制作，然后通过低温烧结形成良好的接触；6.光注入。7.电池测试及分选。

异质结电池HJT是HeterojunctionTechnology的缩写，是一种N型单晶双面电池，具有工艺简单、发电量高、度电成本低的优势。异质结太阳能电池使用晶体硅片进行载流子传输和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅层进行钝化和结的形成。顶部电极由透明导电氧化物（TCO）层和金属网格组成。异质结硅太阳能电池已经吸引了很多人的注意，因为它们可以达到很高的转换效率，可达26.3%，由隆基团队对HJT极限效率进行更新为28.5%，同时使用低温度加工，通常整个过程低于200℃。低加工温度允许处理厚度小于100微米的硅晶圆，同时保持高产量。光伏异质结电池PECVD是制备PIN层的主流设备，其结构和工艺机理复杂，需要专业公司制备。

异质结是由不同材料组成的结构，其中至少有一种材料是半导体材料。根据不同的材料组合方式和结构特点，异质结可以分为以下几种主要类型：结：由p型半导体和n型半导体组成的结构，是常见的异质结。在pn结中，p型半导体和n型半导体的电子浓度和空穴浓度不同，形成了电场，使得pn结具有整流、光电转换等特性。2.Schottky结：由金属和半导体组成的结构，金属为n型或p型半导体提供电子或空穴，形成势垒，使得电子或空穴在两种材料之间流动。Schottky结具有快速开关、高频特性等优点。3.量子阱结：由两种不同带隙能量的半导体材料组成，中间夹着一层非常薄的半导体材料，形成能量势阱。量子阱结具有量子效应，可以用于制造激光器、太阳能电池等器件。4.量子点结：由非常小的半导体颗粒组成，大小通常在1-10纳米之间。量子点结具有量子效应，可以用于制造高效的光电转换器件。5.悬挂门结：由两个不同材料的半导体组成，其中一个半导体材料被刻蚀成一个非常薄的层，形成一个悬挂的结构。悬挂门结具有高灵敏度、低功耗等特点，可以用于制造传感器、存储器等器件。光伏异质结是一种高效太阳能电池，具有更高的转换效率和更低的衰减率。南京钙钛矿异质结

光伏异质结技术能够降低电池的光衰减，提高电池的长期稳定性，延长电池的使用寿命。杭州釜川异质结装备供应商

高效HJT电池整线装备，物理的气相沉积，PVD优点沉积速度快、基材温升低；所获得的薄膜纯度高、致密性好、成膜均匀性好；溅射工艺可重复性好，精确控制厚度；膜层粒子的散射能力强，绕镀性好；不同的金属、合金、氧化物能够进行混合，同时溅射于基材上；缺点：常规平面磁控溅射技术靶材利用率不高，一般低于40％；在辉光放电中进行，金属离化率较低。反应等离子体沉，RPD优点：对衬底的轰击损伤小；镀层附着性能好，膜层不易脱落；源材料利用率高，沉积速率高；易于化合物膜层的形成，增加活性；镀膜所使用的基体材料和膜材范围广。缺点：薄膜中的缺陷密度较高，薄膜与基片的过渡区较宽，应用中受到限制（特别是电子器件和IC）；薄膜中含有气体量较高。杭州釜川异质结装备供应商