恒温恒湿洁净精密温控室

极测（南京）技术有限公司的精密水冷冷冻水机组凭借毫 K 级控温精度（±0.001℃）、快速响应能力及高稳定性设计，成为半导体制造中蚀刻与沉积设备、晶圆制造、芯片测试等关键环节的标配温控设备。本文结合半导体工艺对温度的严苛需求，解析该机组如何通过专li技术实现全流程温度精zhun控制，助力提升芯片良率与生产效率，为半导体行业用户提供温控设备选型与应用参考。
在半导体制造向 3nm 甚至更小制程突破的today，精密水冷冷冻水机组已从 “辅助设备” 升级为 “关键工艺设备”。极测（南京）技术有限公司的产品凭借毫 K 级控温、全流程适配及高可靠性，正在助力国内晶圆厂、封测厂及研发机构攻克温度敏感型工艺难题。对于半导体行业而言，选择一款能够精zhun匹配蚀刻、沉积、晶圆生长、芯片测试等全场景需求的温控设备，不仅是提升良率的关键，更是在全球半导体竞争中构建技术壁垒的重要一环。
现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室。恒温恒湿洁净精密温控室

极测微环境控制系统运用自主研发的高精密控温技术，控制输出精度达 0.1%，设备内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK（静态），温度水平均匀性小于 16mK/m。这一精度确保了在立式干涉仪运行时，光学元件与机械结构不受温度波动干扰，始终维持在蕞佳工作状态，微环境控制系统为精zhun测量提供稳定基础。 静音精密温控极测（南京）研发及设计团队，涵盖了产品经理、结构工程师、暖通、电气自控等各类专业人才。

毫开尔文级控制：精密温控设备采用闭环气流循环系统，通过EC风机驱动气流以精密算法规划的路径均匀覆盖设备内部，实现关键区域温度波动控制在±2mK（静态），温度均匀性<16mK/m

动态响应机制：自主研发的高精密控温技术实现0.1%的控制输出精度，精密温控设备对外界环境变化实现毫秒级响应

洁净度标准：让尘埃无处遁形超越传统的洁净标准：精密温控设备通过多层高效粒子过滤器与动态气流管理，工作区洁净度达ISOClass3标准及以上，远超传统实验室的ISOClass5标准

微粒拦截：精密温控设备可拦截直径0.3μm的尘埃颗粒，杜绝因微粒污染导致的集成电路短路或光学传感器失效智能生态：看得见的稳定，可追溯的精zhun

环境“心电图”：精密温控设备智能监控系统自动生成带时间戳的温湿度曲线报告，支持一键导出，满足ISO17025等国际标准对数据完整性的要求

静音护航：精密温控设备采用EC风机与高效隔音材质，运行噪音<45dB，营造舒适工作环境

灵活架构：按需定制的环境解决方案模块化设计：精密温控设备采用可拆卸铝合金框架结构，支持大型设备现场组装，突破空间限制

按需定制：从温湿度稳定性、洁净度等级到抗微振、防磁、隔音性能，提供全场景非标定制服务

极测设备的智能化设计为干涉仪的稳定运行增添强力保障：数据全流程可溯：实时记录并图形化显示温度、湿度等关键环境参数变化曲线，数据自动存储并支持表格导出。设备运行状态、故障事件完整记录，为科研数据的溯源分析、生产质量管理提供坚实、透明的依据。智能闭环监控：内置自动安全保护系统，异常情况即时响应，故障自动处理机制确保设备 7x24 小时无忧运行。远程协助功能极大缩短故障排除时间，蕞大限度保障干涉仪测量工作的连续性。
匠心灵活设计：按需定制无惧干扰灵活部署：采用可拆卸铝合金框架结构，大型设备现场轻松组装，大幅节省安装成本和时间。坚固美观：高质量钣金箱体坚固耐用，外观颜色可按需定制，完美融入现代化实验室环境。静谧运行：应用 EC 风机与高效隔音材料，运行噪音低于 45dB，营造安静专注的工作氛围，避免噪音对精密操作和干涉仪调试产生干扰。
极测（南京）致力于为芯片半导体、电子信息、光学仪器、精密制造、新能源等行业提供高精密环境解决方案。

极测精密恒温洁净棚还配备了智能运维系统。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线，操作人员可以直观地掌握环境变化情况；数据自动保存且可随时导出，运行状态与故障状态同步记录，方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。自动安全保护系统更是为设备的稳定运行提供了全天候保障，一旦出现异常，系统将立即启动保护机制，减少因故障导致的测量中断和晶圆报废。 极测先进的环境控制技术，为晶圆操作空间树立了新的行业标准。精密恒温洁净棚不仅解决了半导体制造中环境控制的难题，更为芯片的高精度制造和研发提供了坚实的保障。随着半导体技术的不断发展，对晶圆操作环境的要求也将越来越高，而极测精密恒温洁净棚，必将在未来的产业发展中发挥更加重要的作用，助力我国半导体产业迈向新的高度。例如，光刻工艺中，微小的温度波动会导致曝光位置的漂移，进而影响线路的精确度。静音精密温控

控温精度：提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力，温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内。恒温恒湿洁净精密温控室

考虑到不同生产车间的布局需求，极测精密环控设备采用可拆卸铝合金框架，大型设备可在现场便捷组装，节省安装时间与成本。箱体采用高质量钣金材质，不仅坚固耐用，还可根据客户需求定制外观颜色，融入不同的工作环境。设备运行时，采用 EC 风机和高效隔音材质，实现静音高效运转，噪音低于 45dB，为操作人员营造安静舒适的工作环境，避免噪音干扰测量操作和数据分析。 自推出以来，极测精密环控设备已成功为众多企业的三坐标测量仪提供了稳定可靠的工作环境，赢得了赞誉。在制造业对高精度、高效率生产要求日益提升的如今极测精密环控设备为精密制造和质量检测奠定坚实基础，助力企业在激烈的市场竞争中脱颖而出。恒温恒湿洁净精密温控室