0.005精密温控箱

在半导体产业链中，温度波动是导致芯片缺陷的关键因素之一：

蚀刻与沉积环节：极紫外（EUV）光刻、等离子蚀刻等工艺需将温度波动控制在±0.01℃以内，若温度漂移超过阈值，可能导致刻蚀深度不均、薄膜应力开裂等问题；

晶圆生长与加工：硅单晶生长过程中，温度梯度变化会引起晶格缺陷，影响晶圆电学性能；

芯片测试环节：环境温度波动可能导致测试仪器误差增大，造成芯片分选误判。极测精密水冷冷冻水机组以±0.001℃控温精度（远超行业标准）及动态负载适应能力，精zhun解决上述痛点，成为半导体工艺的“温度守护者”。 极测（南京）专注于研发、生产和销售高端定制化精密环控系统，目前已拥有结合全场景非标定制能力。0.005精密温控箱

晶圆制造是一项对环境极为敏感的工艺。无论是光刻、刻蚀，还是封装环节，温度的细微波动和空气中的微小颗粒都可能带来灾难性后果，影响芯片的功能或造成短路或断路，导致整片晶圆报废。南京拓展科技旗下企业，极测（南京）技术有限公司推出的超精密恒温洁净棚，凭借突破性的环境控制技术，为晶圆构建起无可比拟的操作空间，可实现±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等级精度的温度控制，及ISO class1-ISO class6不同等级的洁净度，相比晶圆操作台通过被动抵御环境温度变化，极测精密恒温洁净棚通过其在温度控制和洁净度管理上的双重突破，主动调控外部温度，形成超精密恒温洁净间的 “黄金环境”，成为推动半导体产业向更高精度迈进的关键力量。半导体精密温控公司控温精度：提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力，温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内。

极测（南京）技术有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在实验室专业领域的沉淀，尤其是暖通及自控方面的专长，同时汇聚了30多名拥有15年以上经验的行业前列工程师，致力于为芯片半导体、精密光学、科研研发等领域提供定制化的高精密环境解决方案，现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室，应用于众多科研与生产场景，科学技术成果认定为国际先进水平。目前，高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃，洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力，可满足用户不同环境参数及使用需求，持续领跑超高精密环控技术革新。

半导体制造：光刻工艺的“守护神”在芯片光刻环节，温度波动Jin0.1℃就足以导致光学元件热变形，造成曝光位置漂移。极测精密温控设备提供的±0.002℃恒温环境，使光刻机光学系统保持稳定，直接提升芯片良品率。在蚀刻工艺中，温湿度波动可能引发刻蚀过度或不足。精密温控设备提供的稳定环境保障了刻蚀速率的均匀性，确保芯片电路完整性。航空航天：微米级精度的幕后功臣航空发动机涡轮叶片加工中，0.05℃的温度波动可能导致机床热变形，使叶片加工精度不达标。极测精密温控设备维持的恒温环境，保障了叶片曲面精度和表面质量。在航空航天材料测试环节，设备将湿度波动精确控制在±2%RH内，满足极端严苛的测试要求。光学仪器：纯净与稳定的双重保障在光学镜片研磨中，温度波动会导致研磨盘与镜片材料热膨胀系数差异，影响镜片曲率精度。恒温环境确保研磨精度稳定。同时，洁净环境防止镜片表面污染，避免后续镀膜工序产生缺陷。新能源电池：水分与温度的双重管控在电极涂布工艺中，湿度变化会影响浆料水分含量，导致涂布不均匀。极测精密温控设备提供的±0.5%RH湿度稳定性，确保电极涂布一致性。在电池组装环节，恒温环境避免了不同材料热胀冷缩差异导致的密封不良问题。因此，光学仪器行业通常要求洁净室或无尘室的洁净度达到一定的标准，如千级、万级或十万级净化标准。

高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品，主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成，为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供招高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环，控制系统对循环气流的每个环节进行处理，从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。温度稳定性蕞高可达±0.002°C，湿度稳定性蕞高可达±0.3%RH，洁净等级蕞高可实现 ISO class 1级。极测精密环控柜采用自主研发的高精度制冷/加热控制系统，能够实现高温度精度和稳定性（±2mK）。江西0.02精密温控

例如，光刻工艺中，微小的温度波动会导致曝光位置的漂移，进而影响线路的精确度。0.005精密温控箱

打造高“温度精度”，避免热致误差温度是影响测量精度的首要因素。极测精密环控柜采用自主研发的高精度制冷/加热控制系统，能够实现高温度精度和稳定性。蕞高将内部环境温度波动控制在极小的范围内（±2mK），确保每一次测量数据的重复性与可靠性。超净空间，避免微粒污染除了温控精度，洁净度同样至关重要。悬浮微粒一旦沉积在晶圆或设备光学镜头上，将造成缺陷或信号干扰。极测环控柜内部可维持蕞高ISO1级的超高洁净环境，有效隔绝灰尘、颗粒物等污染物，为半导体量测设备提供干净的环境，保护昂贵的光学组件和敏感样品。智能集成，一站式环境配套我们的解决方案集成了精密温控、洁净控制、湿度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的综合环境配套系统。支持根据您设备的特定型号和工艺要求进行非标定制，匹配不同半导体量测设备的精密需求。设备智能管理系统提供7x24小时实时数据监控与记录，所有环境参数一目了然，数据可追溯，为质量分析和故障排查提供坚实依据。0.005精密温控箱