这款高精密环控柜是我司单独研发的精密环境控制设备,可达成ISOClass1-6级洁净度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多级温度波动控制精度。依托全场景非标定制能力,能满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等多方面的个性化需求。设备具备运行数据实时记录与查询功能,并配备自动安全防护系统,确保长期稳定运行。其构成包括主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统及局部气浴等,专为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备,提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。该系统采用“外环境保障相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量”的逻辑,通过精zhun控温实现仓内湿度达标。为满足严苛要求,采用大风量小温差设计,快速循环过滤空气并带走余热,使关键区域温度波动低至±0.002℃;同时通过多级控温(表冷盘降温+多级电加热升温),将精度从±0.1℃逐步提升至±0.002℃。极测精密温控设备已成为半导体企业、典型通信设备商、显示面板前列品牌及众多重量级实验室的合作伙伴。辽宁光刻机精密温控
精密环境受到多种因素的影响。温度波动会导致仪器设备、被测样品等产生形变,影响空气对光的折射波动;湿度波动会影响空气折射率,湿度过高还易造成电器故障;二氧化碳浓度、压力梯度波动会影响空气折射率;微振动会造成仪器设备等抖动,影响光路;电磁干扰、接地电阻过大会影响仪器设备正常工作。
极测(南京)技术有限公司针对不同环境控制需求,提供了完善的解决方案。普通环境控制需求温度控制精度为 ±2℃,湿度控制精度为 ±5~15%,洁净度等级为十万级到百级,采用恒温恒湿超净间;精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.5~1℃,湿度控制精度为 ±2~5%,洁净度等级为万级到百级,采用精密恒温恒湿超净间;高精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.1~0.3℃,湿度控制精度为 ±2~5%,洁净度等级为千级到百级,采用高精密恒温恒湿超净间;超精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.002~0.1℃,湿度控制精度为 ±1~5%,洁净度等级为百级到十级,在高精密恒温恒湿超净间中搭建精密环控系统,同时气流 / 风速 / 压差控制、CO₂浓度调节、噪音控制、环境参数闭环控制。
山西精密温控公司系统可实现蕞高ISO Class 1级的洁净环境(每立方米≥0.1μm颗粒物≤10个)。
在半导体制造、精密光学检测等领域,环境参数的微小偏差都可能导致产品性能大幅下降。想要实现波动 ±0.005℃的精密温度控制与 ISO Class 3 的洁净度,需要突破传统环境控制的技术瓶颈。 南京拓展科技旗下企业,极测(南京)作为专业的精密温控设备供应商,其对环境温度控制精度可达 ±0.002℃,洁净度可达一级(优于ISO class1),这一数据在行业内处于前列水平。为精密制造和精密仪器的运行提供了可靠的环境保障。精密温控设备现已服务多家芯片半导体令页军企业,以及国家重点实验室。精密温控通过以下方式根据用户的不同需求进行设备的非标定制。
控制精度是衡量精密环控设备的关键指标,通常以温度和湿度的偏差值表示,如 ±0.1℃和 ±1% RH,偏差值越小,精密环控设备的控制能力越强。极测(南京)技术有限公司的精密环控设备运用自主研发的高精密控温技术,能达到 0.1% 的控制输出精度。同时,精密环控设备内部的温湿度均匀性也很重要,能确保各个位置的物品处于相同环境条件;而且在长时间运行中,精密环控设备的温湿度控制需保持稳定,波动范围越小越好,像极测的设备内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。 在精密测量领域,细动误差是一个关键问题,它主要由难以察觉的机械振动或外部干扰引起。
在高duan制造与科研领域,温度控制的微小偏差正在扼杀技术突破:半导体光刻环节:极紫外(EUV)光刻机要求冷却水温度波动≤±0.001℃。传统机组温度控制±0.5℃的精度会导致光刻胶形变,造成纳米级线宽偏差,单次工艺损失超$50万。冷冻电镜(Cryo-EM)成像:生物样本温度控制需在-180℃下维持±0.1℃稳定性。温度波动超过阈值会使冰晶破坏蛋白质结构,3D重建分辨率从3Å劣化至8Å,研究成果价值归零。高功率激光加工:光纤激光器温度控制漂移>±0.02℃时,热透镜效应导致光束焦点偏移20μm,碳钢切割断面粗糙度增加300%,废品率飙升。技术本质:传统水冷机组受限于PID控制滞后性、换热器结垢衰减、单点故障风险,无法满足超精密场景的温度控制“零容忍”需求。通过整体环境温度的精密调控,以及针对局部发热点进行局部气浴,配套控制洁净度及减振处理等。光学元件精密温控采购
极测(南京)精密环控柜满足用户不同温湿度稳定性、洁净度,气压稳定性、抗微振、防磁、隔音等个性化需求。辽宁光刻机精密温控
半导体制造中键合设备对环境要求极高,需在恒温、恒湿、高洁净的环境中运行,同时严格控制振动与静电。这些要求旨在确保键合界面的材料活性稳定、设备机械精度达标,避免因温湿度波动导致的键合偏差、颗粒污染引发的界面缺陷或静电损坏芯片,从而保障微米级至亚微米级键合精度及产品良率与可靠性。 精密洁净间的主柜体为内部精密组件构筑起稳固的运作空间;依托高精密控温技术,以0.1%的精密控制输出精度。此外,精密洁净间设备配备的气流循环系统,通过风机驱动气流定向循环,结合高效洁净过滤器,不仅能确保设备内部温度均匀分布,更能达到百级以上的超高洁净标准,工作区域洁净度蕞高优于ISO class3,为半导体光刻机、键合设备等对环境要求严苛的精密仪器,打造了近乎完美的研发生产环境。辽宁光刻机精密温控