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种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 可以耐高温,抗静电,低留痕,耐化学品,吸力大.全国微孔陶瓷真空吸盘市场价

2、湿氢法

湿氢法是将Al 粉置于Al2O3中，在适当的位置放入单晶Al2O3以诱导陶瓷生长，放入管式炉内，在湿氢气氛下加热至1400℃，保持2h，湿氢**控制为-30℃。通过控制氢气**起到对其中水蒸气含量的控制，制备得到的氧化铝陶瓷。

湿氢法优点是氧化铝陶瓷以螺旋位错机理生长，产品品质较好。缺点是**不易控制，受环境湿度因素干扰大，且对实验设备影响很大。

3、模板法

目前，研究报道模板法主要是采用棉花纤维和碳纳米管为模板，制备氧化铝陶瓷。主要工艺过程是首先将棉花纤维浸入5%的AlCl3溶液中2min，80℃下干燥24 h，放入刚玉坩锅置于烘箱中分别在 800℃、1000℃和1200℃下烧制2h，即得到多晶的氧化铝陶瓷陶瓷。 全国微孔陶瓷真空吸盘市场价固定盘连接在旋转器上，被固定物可以随着固定盘一起旋转。

    ***，氧化锆陶瓷能够直接烧成的平面度是非常好的，所以很多后膜集成电路，制冷器以及臭氧发生器等都是由氧化锆陶瓷加工而成的，可以说这种陶瓷材质制作而成的产品比其他材质更具优势。第二，采用注射成型技术，通过良好的收缩比控制，再加上后期的加工，氧化锆陶瓷加工制作而成的零件在很多行业领域都得到了***的应用，无论是模具还是夹具等相对比较精密的生产设备都是由氧化锆陶瓷加工而成的。第三，在日常生活中**为常见的要数氧化锆陶瓷加工制成的***，不仅强度更高，不会使用一段时间之后生锈不说，更为重要的是不会跟食物发生反应，使得它比其他类型的***更受人们的欢迎。

    4、自增韧氧化锆陶瓷由于柱状晶的存在，在氧化锆陶瓷断裂过程中，会导致裂纹发生偏转，改变和增加了裂纹扩展的路径，从而钝化裂纹增加了裂纹扩展阻力，达到增韧的目的。5、弥散韧化弥散韧化主要是指四方相ZrO2颗粒对陶瓷基体的韧化，除了相变韧化机制以外还有第二相质点的弥散韧化机制。在裂纹进行扩展之前，首先得克服陶瓷本身的内部残余应变能，从而达到增韧的目的。6、微裂纹增韧微裂纹增韧是指在裂纹应力前列加入韧性材料，使其产生微裂纹，达到分散应力的目的，减少裂纹前进的动力，从而增加材料的韧性。在材料发生相转变时，往往也会导致残余应变能效应以及产生微裂纹。因此，相转变增韧的效果是***的。 旧型的真空固定板都是利用铝板和不锈钢板上的槽或孔来吸附加工物的。

2、干压成型

对形状简单、适于干压成型的中小型氧化锆陶瓷产品常采用干压方法成型。氧化锆 陶瓷干压时出现的常见问题是产品分层，这是因为氧化锆超细粉造粒料的颗粒很细，因而颗粒轻、流动性差，干压成型时容易出现分层现象。从生产实践中得知，产品分层与成型模具的光洁度和配合情况、成型压力、加压方式、加压速度和保压时间、脱模方式、脱模速度均有关系，下面就上述几方面因素对干压成型的影响分述如下：

A、模具的光洁度和配合情况

干压成型对模具质量要求较高，首先要求模具硬度达到一定的要求。由于氧化锆稳定料的颗粒很细，流动性差，因而对模具的光洁度要求很高，若光洁度达不到要求，则干压时影响料的流动，从而导致分层的出现。同时，若模具配合不好，间隙大，则由于氧化锆 粉料颗粒细，压制时粉料会从模具间隙中流出，从而造成模具四周的粉料少，这样压制时四周就不能压实，从而会因压力传递不一致而出现分层，故对模具的配合要求较高。 是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.中山原装微孔陶瓷真空吸盘维修

通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料.全国微孔陶瓷真空吸盘市场价

2)利用多孔陶瓷制备多孔电极。以多孔气体扩散电极为例，它的比表面积不但比平板电极提高3～5个数量级，而且液相传质层的厚度也从平板电极的10cm压缩到1O～10cm，从而**提高电极的极限电流密度，减少浓差极化。

敏感元件

陶瓷传感器的敏感元件工作原理是当微孔陶瓷元件置于气体或液体介质中时，介质的某些成分被多孔体吸附或与之反应，使微孔陶瓷的电位或电流发生变化，从而检验出气体或液体的成分。比较常用的有温度传感器、湿度传感器、气体传感器以及多功能传感器。

微孔膜

陶瓷分离膜因耐高温、耐酸碱、抗生物侵蚀、不老化、寿命长等优点，被开发应用于食品工业、生物化工、能源工程、环境工程、电子技术等领域。随着材料科学技术的发展，纳米级多孔无机膜的制备和应用成为人们目前研究的热点。微孔无机膜还应用于光学、电子学、磁学等领域。 全国微孔陶瓷真空吸盘市场价

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