种微孔真空吸盘工作台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台,属于机械设备领域。
【背景技术】
[0002]划片刀用于精密加工,由于它的损耗速度非常快,因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机,目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备,在生产过程中发现,现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短,由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形,在生产过程中,随温度变化也会变形加快。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于,提供一种微孔真空吸盘工作台,它能够解决现有技术的不足,提供一种结构更合理,使用寿命更长的工作台。 微孔陶瓷真空吸盘的结构紧凑,重量轻,易于安装和更换。常州正规微孔陶瓷真空吸盘新报价
水热-热静压工艺
该工艺通过水作为压力传递介质制备各种孔径多孔陶瓷。其简单制备步骤为:硅凝胶和10%(质量百分数)的水混合,置于高压釜中(压力10—15MPa,温度300℃),通过水蒸汽的挥发而制成多孔陶瓷。水热-热静压工艺中,反应时间一般为10—180 min。在25MPa下处理60min,制得的多孔陶瓷材料体积密度为0.88 g/cm,孔体积为0.59cm/g,孔尺寸分布范围为30~50nm,抗压强度高达80MPa。多孔陶瓷水热-热静压工艺具有以下优点:制得的多孔陶瓷材料抗压强度高、性能稳定、孔径分布范围广。 无锡原装微孔陶瓷真空吸盘代理多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输.
高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料,由于其烧结温度高达1650—1990℃,透射波长为1~6μm,在电子工业中可用作集成电路基板与高频绝缘材料。
氧化锆陶瓷呈白色,含杂质时呈黄色或灰色,一般含有HfO2,不易分离。在常压下纯ZrO2共有三种晶态。氧化锆陶瓷的生产要求制备高纯、分散性能好、粒子超细、粒度分布窄的粉体,氧化锆超细粉末的制备方法很多,氧化锆的提纯主要有氯化和热分解法、碱金属氧化分解法、石灰熔融法、等离子弧法、沉淀法、胶体法、水解法、喷雾热解法等。
3、等静压成型
对形状特殊和尺寸大的氧化锆结构陶瓷,需采用等静压成型。等静压成型的坯体由于各方向所受压力均匀相等,且压力大,因此成型后的坯体密度高,均匀性好,烧成收缩小,不易变形、开裂、分层。该成型方法可避免干压时易出现的分层,特别是成型较厚的氧化锆制品,干压时极易出现分层,而等静压成型则可避免,因此该成型方法是生产氧化锆制品常用的方法。但等静压成型后的坯体需要加工,因此会浪费一部分原料,同时由于坯体很硬,加工比较麻烦,且加工速度要求缓慢,否则坯体易发生断裂,生产效率不高。 是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.
离子交换法层状硅酸纳晶体与十八烷基三甲基溴化铵在水中充分混合,硅酸盐层间的阳离子与铵盐阳离子将自发地进行交换,由于铵盐离子体积较大,硅酸盐的片层结构会因铵盐的引入而发生弯曲变形,弯曲的片层之间发生缩聚,将有机物包围在片层当中,经高温烧结除去有机物,即形成多孔SiO2。目前,人们正在研究这种多孔材料的稳定性和比表面积问题,并期望将其应用于催化或吸附系统中。应用载体多孔陶瓷具有良好的吸附能力和活性。被覆催化剂后,反应流体通过泡沫陶瓷孔道,将**提高转化效率和反应速率。由于多孔陶瓷具有比表面积高、热稳定性好、耐磨、不易中毒、低密度等特点,作为汽车尾气催化净化器载体已被***使用除了作催化剂载体外,它还可以作为其它功能性载体,例如药剂载体、微晶载体、气体储存等。 相关微孔陶瓷真空吸盘产品的供求信息.上海销售微孔陶瓷真空吸盘代理厂家
在一个盘上,可以固定多种形状的被加工物。常州正规微孔陶瓷真空吸盘新报价
(1)晶粒大小。品粒越细,晶界面积越大,产生塑性变形就越大。(2)温度。在压力恒定下,应变速率随着温度提高而增加。(3)应变速率大小。尤其在位伸变形时,较低的应变速率可获大于200%的拉伸变形,因为应变速率过大,在晶界处易形成空洞等,以致造成过早的断裂。(4)空洞大小。要保持较低的应变速率,以***空洞的生成。目前,超塑性氧化锆陶瓷主要用于发动机中活塞环,随着研究的深入,其应用前景是广阔的。氧化锆材料高温下具有导电性其晶体结构存在氧离子缺位的特性,可制成各种功能元件。 常州正规微孔陶瓷真空吸盘新报价
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