江西微孔陶瓷真空吸盘公司

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国仅有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 微孔陶瓷真空吸盘的耐磨性和耐高温性能使其成为处理热敏感物体的理想选择。江西微孔陶瓷真空吸盘公司

    (7)堇青石、钛酸铝材料，其特点是热膨胀系数小，因而***用于热冲击环境。添加剂(1)助熔剂陶瓷助熔剂的主要作用是降低烧成温度，增加液相，扩大烧成范围，提高坯体的力学强度和化学稳定性。常用的助熔剂有长石、珍珠岩、滑石、蛇纹石、硅灰石、石灰石、白云石等。(2)增塑剂陶瓷增塑剂主要作用是提高陶瓷坯体的整体塑性，保证坯体具有一定的强度，使坯体在烧成前保持原有形状。常用的增塑剂有粘性土、木节土、球土等。(3)粘结剂粘结剂是指为了提高坯体的强度或防止粉末偏析而添加到陶瓷坯料中的具有粘结作用的添加剂。粘结剂一般选择易于在烧结前或烧结过程除掉的物质，如淀粉、石蜡、羧甲基纤维素、聚乙烯醇等。水玻璃具有较好的粘性，水分挥发后留下的硅酸钠可以作为陶瓷的成分，所以也常被用作粘结剂。 清远销售微孔陶瓷真空吸盘价格便宜微孔陶瓷真空吸盘的设计和制造经过精密计算和工艺，确保其吸附力和密封性能的可靠性。

4、Al-SiO2法

Al-SiO2法是目前制备氧化铝陶瓷中采用最多的方法。该方法将Al金属和SiO2粉体混合均匀后，在Ar气条件下进行反应，反应温度一般为1300～1500 ℃

，反应时间为2～4h，制备得到氧化铝陶瓷。

Al-SiO2法优点是原料价格低廉，工艺操作简单易行。缺点是：制备过程中需要通入保护气体，限制了其工业应用。

5、前驱体法

化学反应前驱体法在水热条件下进行，原料在高压釜内发生反应得到前驱体，前驱体已经具有陶瓷或是纤维状结构，为最终产物的出现提供了骨架。在水热制备氧化铝陶瓷中，勃姆石纤维为常见中间体。主要工艺过程是采用 Al（OH）3为前驱体，胶体经水热反应生成纤维状勃姆石晶粒，再经常压下煅烧，得到 α-Al2O3微粉，晶粒仍保持了纤维形状。

冷冻干燥工艺

在该工艺中，让冰将柱状的凝胶包围和隔离着，并且控制溶液中冰的生长方向为单向生长，冰溶化后纤维就形成了。在另外一种制备孔陶瓷的冻干工艺中，溶剂是直接由固态到气态升华而排除的。通过控制金属盐溶液的冷冻方向获得了方向性好、气孔率很高(>90%)的多孔陶瓷。

自蔓延高温合成(SHS) 工艺

燃烧合成, 又称自蔓延高温合成用燃烧合成技术制备多孔材料的主要过程是放热反应，化学反应释放出来的热量维持反应的自我进行，合成新物质的同时获得了所期望的多孔材料，包括具有一定形状的多孔材料。燃烧合成过程总是伴随着烧结现象，烧结体的孔隙度很高，可以达到50%左右，甚至更高。SHS与常规方法相比主要有以下特点和优势:合成反应过程迅速，能大量节省能源，产品纯度高，工艺相对简单，适合于制备各类无机材料。SHS 存在的主要不足之处是反应快迅速，试样的烧结尺寸难以控制。 适用多种不同工件提供各种不同形状,尺寸和材料的吸盘.

    高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘)，特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附,同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输，装置应用***用于平坦，无孔表面的工作平台。产品种类：陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等；材料：氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输。 可用于高温过滤材料、催化剂载体、燃料电池的多孔电极、敏感元件、分离膜、生物陶瓷.江西微孔陶瓷真空吸盘公司

应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序.江西微孔陶瓷真空吸盘公司

    二、结构陶瓷氧化锆陶瓷力学性能较好，其作为工程结构材料应用非常***。氧化锆陶瓷轴承的寿命稳定性高于传统滑动和滚动轴承，更加耐磨、抗腐蚀；氧化锆陶瓷可以制作发动机气缸内衬、活塞环等零件，在降低质量的同时还可以提高热效率；氧化锆陶瓷阀门可以有效代替传统金属合金阀门，尤其是在恶劣的工作环境中，有效降低磨损、提高耐腐蚀性，从而大大提高寿命；氧化锆陶瓷可用于制作陶瓷***，比传统钢刀更加锋利，外观精美漂亮等。.二、结构陶瓷氧化锆陶瓷力学性能较好，其作为工程结构材料应用非常***。氧化锆陶瓷轴承的寿命稳定性高于传统滑动和滚动轴承，更加耐磨、抗腐蚀；氧化锆陶瓷可以制作发动机气缸内衬、活塞环等零件，在降低质量的同时还可以提高热效率；氧化锆陶瓷阀门可以有效代替传统金属合金阀门，尤其是在恶劣的工作环境中，有效降低磨损、提高耐腐蚀性，从而大大提高寿命；氧化锆陶瓷可用于制作陶瓷***，比传统钢刀更加锋利，外观精美漂亮等。 江西微孔陶瓷真空吸盘公司

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