微孔陶瓷吸盘的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用***用于平坦,无孔表面的工作平台。产品种类:陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等;材料:氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。 研磨后的表面光滑平整,可替代国外进口材料.深圳官方微孔陶瓷真空吸盘参考价
多孔陶瓷同时称之为纳米微孔真空吸盘,是指经过特殊的纳米粉体制造工艺先生产出均匀的实心或者真空球体,通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料,凭借特殊的结构从而具有耐高温、耐磨损、耐化学腐蚀、机械强度高、易于再生和优良的抗热震性等优点,可用于高温过滤材料、催化剂载体、燃料电池的多孔电极、敏感元件、分离膜、生物陶瓷等,在化工、环保、能源、电子、生物化学等领域展现出独特的应用优势。
微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、**度、高平整度,及吸附能力非常强等特点,广泛应用于半导体、磁性材料、电子行业。Fountyl加工的微孔陶瓷的主要特点:平面度、平行度好、组织致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀、易于修整。 深圳官方微孔陶瓷真空吸盘参考价用真空阀可以调节吸附力的大小。
种微孔真空吸盘工作台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台,属于机械设备领域。
【背景技术】
[0002]划片刀用于精密加工,由于它的损耗速度非常快,因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机,目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备,在生产过程中发现,现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短,由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形,在生产过程中,随温度变化也会变形加快。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于,提供一种微孔真空吸盘工作台,它能够解决现有技术的不足,提供一种结构更合理,使用寿命更长的工作台。
隔热保温材料由于多孔陶瓷具有巨大的气孔率和低的基体热传导系数,其**传统的应用是作为隔热材料。传统的窑炉、高温电炉其内衬多为多孔陶瓷。为增加其隔热性能还可将内部气体抽真空。目前世界上比较好的隔热材料正是这种多孔陶瓷材料。高级的多孔陶瓷隔热材料还可用于航天飞机的外壳隔热。除此以外,由于其多孔性还可以作为换热材料用,且换热充分。多孔介质燃烧器多孔介质燃烧器有功率大、范围可调、高功率密度、极低的C0和N0x排放量、安全稳定燃烧等优点。而且很重要的一点是,多孔介质燃烧器的结构紧凑,尺寸大大减小,制造成本低,系统效率较高,消除了额外能耗。 在湿度大,有粘合液体的环境下也可以工作。
(7)堇青石、钛酸铝材料,其特点是热膨胀系数小,因而***用于热冲击环境。添加剂(1)助熔剂陶瓷助熔剂的主要作用是降低烧成温度,增加液相,扩大烧成范围,提高坯体的力学强度和化学稳定性。常用的助熔剂有长石、珍珠岩、滑石、蛇纹石、硅灰石、石灰石、白云石等。(2)增塑剂陶瓷增塑剂主要作用是提高陶瓷坯体的整体塑性,保证坯体具有一定的强度,使坯体在烧成前保持原有形状。常用的增塑剂有粘性土、木节土、球土等。(3)粘结剂粘结剂是指为了提高坯体的强度或防止粉末偏析而添加到陶瓷坯料中的具有粘结作用的添加剂。粘结剂一般选择易于在烧结前或烧结过程除掉的物质,如淀粉、石蜡、羧甲基纤维素、聚乙烯醇等。水玻璃具有较好的粘性,水分挥发后留下的硅酸钠可以作为陶瓷的成分,所以也常被用作粘结剂。 经特殊工艺加工出来的微孔陶瓷材料.深圳官方微孔陶瓷真空吸盘参考价
微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.深圳官方微孔陶瓷真空吸盘参考价
新能源材料
1) 多孔陶瓷因其与液体和气体的接触面积大,使电解池的槽电压比使用一般材料低得多,而成为优良的电解隔膜材料,可**降低电解槽电压,提高电解效率,节约电能和昂贵的电极材料。目前陶瓷隔膜材料已用在化学电池、燃料电池、光化学电池中,特别是固体氧化物电池。
2)利用多孔陶瓷制备多孔电极。以多孔气体扩散电极为例,它的比表面积不但比平板电极提高3~5个数量级,而且液相传质层的厚度也从平板电极的10cm压缩到1O~10cm,从而**提高电极的极限电流密度,减少浓差极化。
敏感元件
陶瓷传感器的敏感元件工作原理是当微孔陶瓷元件置于气体或液体介质中时,介质的某些成分被多孔体吸附或与之反应,使微孔陶瓷的电位或电流发生变化,从而检验出气体或液体的成分。比较常用的有温度传感器、湿度传感器、气体传感器以及多功能传感器。 深圳官方微孔陶瓷真空吸盘参考价
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