韶关官方微孔陶瓷真空吸盘价格

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 平面度、平行度好、**致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀、易于修整。韶关官方微孔陶瓷真空吸盘价格

    微孔陶瓷吸盘的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘)，特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附,同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输，装置应用***用于平坦，无孔表面的工作平台。产品种类：陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等；材料：氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输。 韶关官方微孔陶瓷真空吸盘价格微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.

    高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘)，特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附,同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输，装置应用***用于平坦，无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输。自动化搬运、对象吸取、定位、精密网板印刷用工作台，利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力，将工作物（包括晶圆、玻璃、PET膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盘上，利用真空吸力使工作物固定，进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具，应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序。Fountyl公司生产的工作盘可以和日本、德国、以色列、美国及国产的设备配套使用，具有优越的性能价格比。

3、等静压成型

对形状特殊和尺寸大的氧化锆结构陶瓷，需采用等静压成型。等静压成型的坯体由于各方向所受压力均匀相等，且压力大，因此成型后的坯体密度高，均匀性好，烧成收缩小，不易变形、开裂、分层。该成型方法可避免干压时易出现的分层，特别是成型较厚的氧化锆制品，干压时极易出现分层，而等静压成型则可避免，因此该成型方法是生产氧化锆制品常用的方法。但等静压成型后的坯体需要加工，因此会浪费一部分原料，同时由于坯体很硬，加工比较麻烦，且加工速度要求缓慢，否则坯体易发生断裂，生产效率不高。 是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.

    一、成型氧化锆结构陶瓷的成型方法目前用得较多的有三种：热压铸成型、干压成型和等静压成型。1、热压铸成型对于氧化锆结构陶瓷小型产品或形状复杂的产品。一般采用热压铸成型方法。该成型方法比较简单，特别适宜于生产批量大或形状复杂的中小型产品。但氧化锆热压铸产品排蜡时易出现开裂、变形等缺点，这是因为氧化锆陶瓷料浆颗粒粒径较小，粉料比表面积大，调制热压铸浆料时，石蜡及油酸的加人量要明显高于其它陶瓷制品，从而造成坯体收缩大，排蜡时易出现开裂、变形等缺点。因此调试浆料时，要掌握好石蜡及油酸的加入量和加人方式，设计合理的排蜡烧成曲线及其它相关工艺参数，可以避免上述缺点的出现。 在湿度大，有粘合液体的环境下也可以工作。韶关官方微孔陶瓷真空吸盘价格

旧型的真空固定板都是利用铝板和不锈钢板上的槽或孔来吸附加工物的。韶关官方微孔陶瓷真空吸盘价格

    高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘)，特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附,同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输，装置应用***用于平坦，无孔表面的工作平台。产品种类：陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等；材料：氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输。 韶关官方微孔陶瓷真空吸盘价格

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