一、成型氧化锆结构陶瓷的成型方法目前用得较多的有三种:热压铸成型、干压成型和等静压成型。1、热压铸成型对于氧化锆结构陶瓷小型产品或形状复杂的产品。一般采用热压铸成型方法。该成型方法比较简单,特别适宜于生产批量大或形状复杂的中小型产品。但氧化锆热压铸产品排蜡时易出现开裂、变形等缺点,这是因为氧化锆陶瓷料浆颗粒粒径较小,粉料比表面积大,调制热压铸浆料时,石蜡及油酸的加人量要明显高于其它陶瓷制品,从而造成坯体收缩大,排蜡时易出现开裂、变形等缺点。因此调试浆料时,要掌握好石蜡及油酸的加入量和加人方式,设计合理的排蜡烧成曲线及其它相关工艺参数,可以避免上述缺点的出现。 因为盘面气孔的分布状态可选择围棋盘或同心圆状。全国直销微孔陶瓷真空吸盘维修电话
氧化锆陶瓷是具有独特的物理和化学性质,如高硬度,低的热传导性,熔点高,抗高温和腐蚀,化学惰性和两性性质,在电子陶瓷、功能陶瓷和结构陶瓷等方面的应用迅速发展。作为特种陶瓷材料在电子、航天、航空和核工业等高新技术领域具有广阔的应用前景。然而氧化锆陶瓷材料的致命缺点是脆性,低可靠性和低重复性,这些不足严重影响了其应用范围。只有改善氧化锆陶瓷的断裂韧性,实现材料强韧化,提高其可靠性和使用寿命,才能使氧化锆陶瓷真正地成为一种广泛应用的新型材料,因此,氧化锆陶瓷增韧技术一直是陶瓷研究的热点。东莞原装微孔陶瓷真空吸盘企业可以耐高温,抗静电,低留痕,耐化学品,吸力大.
B、成型压力
成型压力在氧化锆干压成型过程中是较关键的,压力太小和太大都不能压制出理想的坯体。压力太小,则烧后产品的密度小,产品收缩大,坯体压实程度不够容易出现分层;而压力太大,坯体也容易出现裂纹、分层和脱模困难等现象。合适的成型压力需要通过生产实践来摸索。
C、加压方式
般干压成型时加压方式有两种,一种是单面加压,另一种是双面加压。当单面加压时,则直接受压的一端压力大,出现明显的压力梯度,粉料的流动性越差,则坯体内出现的压力差也就越大,越容易出现分层。双面加压时,坯体两端直接受压,因此两端密度大,中间密度小,其压力梯度的有效传递距离为单面加压的一半,故坯体的密度比单面加压要均匀得多。因此氧化锆陶瓷干压成型时宜采用双面加压的方式。
种微孔真空吸盘工作台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台,属于机械设备领域。
【背景技术】
[0002]划片刀用于精密加工,由于它的损耗速度非常快,因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机,目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备,在生产过程中发现,现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短,由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形,在生产过程中,随温度变化也会变形加快。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于,提供一种微孔真空吸盘工作台,它能够解决现有技术的不足,提供一种结构更合理,使用寿命更长的工作台。 同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。
真空吸盘要求高孔隙率,超微细孔径的场合,Fountyl微孔陶瓷正空吸盘,孔大小在30微米到60微米的范围。微孔陶瓷的结构形状有很多种,都是由无数不同规格的硅酸铝瓷质颗粒**而成,**时不同规则地形成了几十微米到0.1微米的自由空隙,经过掺入高温(1500℃)的溶蚀粘结物,再经烧结而获得强度大、空隙多而小、耐腐蚀、耐高温的微孔陶瓷。经特殊工艺加工出来的微孔陶瓷材料,采用粗细均匀的颗粒,加工出来的陶瓷板具有孔径分布均匀,研磨后的表面光滑平整,可替代国外进口材料,是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具,应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序,广泛应用于半导体、印刷、电子陶瓷等行业的真空吸盘设备。不易阻塞真空力大,部份面积吸附.东莞原装微孔陶瓷真空吸盘企业
来选择相应的真空接口就行。不管被加工物形状如何,都可以吸附.全国直销微孔陶瓷真空吸盘维修电话
泡工艺发泡工艺是陶瓷组分添加有机或无机化学物质,通过化学反应等产生挥发气体,经干燥和烧成制成多孔陶瓷。发泡工艺与泡沫浸渍工艺相比,更容易控制制品的形状、成分和密度,并可制备各种气孔形状和大小的多孔陶瓷,特别适用于制备闭气孔的陶瓷材料。用来做发泡剂的化学物质有很多种类,例如,用碳化钙、氢氧化钙、铝粉***铝和双氧水作发泡剂;由亲水性聚氨脂塑料和陶瓷泥浆同时发泡制备多孔陶瓷;用硫化物和***盐混合作发泡剂等。添加成孔剂工艺此工艺是通过在陶瓷配料中添加造孔剂,利用造孔剂在坯体中占据一定的空间,然后经过烧结,造孔剂离开而形成气孔来制备多孔陶瓷。添加造孔剂制备多孔陶瓷的工艺流程与普通的陶瓷工艺流程相似。造孔剂的种类有无机和有机两类,无机造孔剂有碳酸铵、碳酸氢铵、氯化铵等高温可分解的盐类,以及煤粉、碳粉等。有机造孔剂主要是天然纤维、高分子聚合物和有机酸等。造孔剂颗粒的形状和大小决定了多孔陶瓷材料气孔的形状和大小。多孔陶瓷材料的成型方法与普通陶瓷的成型方法类似,主要有模压、挤压、等静压、扎制、注射和粉浆浇注等。 全国直销微孔陶瓷真空吸盘维修电话
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