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六氟化硫还具有良好的热稳定性，能够在高温环境下保持其性能不变。这一特性使得六氟化硫在电力设备的长期运行中能够保持稳定的绝缘和灭弧效果。在半导体制造业中，六氟化硫被用作蚀刻剂。它能够在特定的工艺条件下对硅片表面进行精细的蚀刻，形成所需的电路结构。由于六氟化硫对硅片的蚀刻效果稳定且可控，因此被广泛应用于高精度、高质量的半导体器件制造中。在实验室研究中，六氟化硫因其独特的化学性质而被用作实验试剂。它可用于研究化学反应机理和动力学过程，为科学研究提供重要支持。此外，六氟化硫还可用于制备其他含硫化合物，为化学合成提供重要的原料。安徽SF6六氟化硫多少m3