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D.3.2静压差测试，应符合下列规定：1静压差的测定应在所有的门关闭时进行。2仪器宜采用各种型式的微压计，仪表灵敏度应小于1.0Pa。3洁净厂房有多个洁净室（区)时，应从**里面的房间与相邻房间的压差测试开始，并应按顺序向外进行检测。D.3.3已安装的空气过滤器泄漏测试，应符合下列规定：1仪器应使用采样量大于11/mn的光学粒子计数器。2应在过滤器上风侧引入大于等于0.1um(0.5um)粒子，粒子浓度应大于3.5×10P/m³的大气尘或其他气溶胶；在过滤器下风侧应用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面20~30mm处，并应以5~20mm/s速度移动。应检测包括过滤器的整个面和过滤器周边、过滤器框架及其密封处的扫描。检测结果异常时，应组织团队进行复检和原因分析。山东口罩生产车间环境检测规范性强

洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。空气洁净度是指洁净环境中空气含尘微粒量多少的程度含尘浓度高则洁净度低含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间内空气的计数含尘浓度来表示，也就是把从某一个低的含尘浓度起到不超过另一个高的含尘浓度止这一个含尘浓度范围为某一个空气洁净度级别。悬浮粒子是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.15μm的固体和液体粒子。山东口罩生产车间环境检测规范性强压差检测有助于确认洁净室与非洁净区之间的隔离效果。

B.3.3.3.3飞行时间粒径测量大粒子的尺寸可用飞行时间仪来测量。空气样本抽人仪器,经喷嘴进人一个局部真空区,空气因膨胀而加速,测量在真空区进行。空气样本中的所有粒子均在测量区加速,粒子的加速度与粒子质量成反比。利用测量点的风速与粒子速度两者的关系,可测定粒子的空气动力学直径。知道环境与测量区之间气压的压差,可直接计算出风速。根据粒子在两束激光间的飞行时间测定粒子速度。飞行时间仪可测量大到20μm粒子的空气动力学直径,粒径分辨率好于10%。获取样本的方法与离散粒子计数器测量相同;确定粒径范围的方法也与离散粒子计数器相同。

相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤皲裂，呼吸道不适以及情感上的不快。高湿度实际上减小了洁净室表面的静电荷积累──这是人们希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。合格的第三方洁净室检测机构普遍要求要有具体的洁净相关检测。

在单向流洁净室中，洁净气流不是一股或几股，而是充满整个房间截面，所以这种洁净室不依靠洁净气流对室内脏空气的混合稀释作用，而是依靠在干净的气流上推出效果。室内脏空气沿整个断面排到室外，达到净化室内空气的目的。因此，前联邦德国有人将单向流洁净室的气流称为“塞流”、“塞流”，前苏联则称其为“挤压弱气流”。洁净的空气就像一个空气活塞，沿着房间的“气缸”向前(向下)推动，使尘粒只能向前(向下)移动而不能返回，在单流洁净室和单流净化设备中，逆向气流可以沿着墙壁和两个过滤器的重叠部分下方出现。这种气流会将污染从底部传送到顶部，然后向下传送，破坏上述“塞流”状态，危害极大。对于有开口与外界相连的局部净化设备，如洁净工作台，这种气流会导致外部污染气流。在设计中，必须减少滤框占用的无效面积，减少空间的壁面。尽可能靠近过滤器的有效风截面。空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度，通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低。山东口罩生产车间环境检测规范性强

它不仅对室内空气的温度、湿度、风速有一定要求，而且对空气中的含尘粒数、细菌浓度等均有较高的要求。山东口罩生产车间环境检测规范性强

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。山东口罩生产车间环境检测规范性强