D.3.2静压差测试,应符合下列规定:1静压差的测定应在所有的门关闭时进行。2仪器宜采用各种型式的微压计,仪表灵敏度应小于1.0Pa。3洁净厂房有多个洁净室(区)时,应从极里面的房间与相邻房间的压差测试开始,并应按顺序向外进行检测。D.3.3已安装的空气过滤器泄漏测试,应符合下列规定:1仪器应使用采样量大于11/mn的光学粒子计数器。2应在过滤器上风侧引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子浓度应大于3.5×10P/m³的大气尘或其他气溶胶;在过滤器下风侧应用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面20~30mm处,并应以5~20mm/s速度移动。应检测包括过滤器的整个面和过滤器周边、过滤器框架及其密封处的扫描。根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定。上海实验室洁净室检测认真负责
10.3.1洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定,并应符合下列规定:1供气规模应按产品生产所需供气量和计入必要损耗量确定,并应设有一定的备用供气量;2供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定;3供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站;4应选用能耗少、噪声低的设备,宜选用无油润滑空气压缩机,5含水量要求严格时,宜选用加热再生吸附干燥装置。安徽实验室洁净室检测第三方检测机构单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染排出。
从收集的国内外洁净室噪声标准来看,有以下几个特点:洁净室的噪声标准一般均严于保护健康的标准。在洁净室的环境下,噪声条件主要在于保障正常操作运行,满足必要的谈话联系,提供舒适的工作环境。绝大多数标准给出的允许值在65dB(A)~70dB(A)范围,医疗行业则更低。现行的大多数标准均以A声压级作为评价指标,也有少数标准对各频带声压级提出了限制。少数标准按不同的空气洁净度等级分别给出了噪声容许值,而大多数标准对不同的空气洁净度等级洁净室提出了一个统一的容许值。
C.3已装过滤系统气溶胶光度计扫描检漏规程C.3.1进行已装过滤系统扫描检漏前,应已完成风速合格性检测。C.3.2过滤器上风向气溶胶适当粒径范围[质量中值粒径(MMD)一般为0.5μm~0.7μm,几何标准差可高达1.7];浓度为10mg/m~100mg/m。浓度低于20mg/m时检漏的灵敏度欠佳;高于80mg/m,长时间检测会过度污染过滤器。注入气溶胶与送风应均匀混合,上风向气溶胶浓度随时间的变化不应超过平均测量值的士15%。C.3.3按规定的扫描速度,移动采样探头往复扫描。采样头往复扫描速度为15/Wp,cm/s(Wp为垂直于扫描方向的采样口宽度。扫描速度为5cm/s。注:当使用3cm×3cm正方形采样头扫描时,扫描的覆盖面之间略有重叠。C.3.4采样口的风速接近过滤器出风面的风速(接近“等动力采样”)。采样探头距过滤器出风面和框架结构约3cm。C.3.5扫描应遍及过滤器的整个出风面、过滤器的周边、过滤器边框与安装构架之间的密封处及安装构架的结合点。C.3.6验收限值:当读数大于上风向气溶胶浓度的0.01%时,就认为存在渗漏。供需双方也可商定其他验收限值。扫描时任何显示大于或等于渗漏限值处,采样头应停留持续测量一段时间,光度计获得比较大读数时采样头的位置应判定为渗漏位置。负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。
5.1.1随着科学技术的发展,电子产品的更新换代、产品生产技术的发展十分迅速,以集成电路为**的微电子产品尤为***,集成电路产品基本上是2~3年或更短的时间就会提升一代产品;以TFT-LCD为**的显示器件正在取代彩色显像管的显示器件生产;微型计算机的迅速发展,使各种元器件生产发展十分迅速。因此,电子工业洁净厂房的设计、建造必须适应这种快速发展的需要,从洁净厂房的规划开始,对于电子工厂、洁净厂房的工艺设计、工艺布局应充分考虑电子产品发展的灵活性,以满足电子产品生产工艺改造和扩大生产的需求。定期检测洁净度,确保空气质量的稳定。压差洁净室检测频率
充分利用回风量;选择低阻力高效率的空调和净化设备和可变风量的风机等入手。上海实验室洁净室检测认真负责
10.2.3气体纯化装置的设置,应符合下列要求:1气体纯化装置应根据气源和产品生产工艺对气体纯度、容许杂质含量要求选择;2气体纯化装置宜设置在气体纯化间(站)内。当洁净厂房设有气体入口室时,气体纯化间宜与气体入口室合建;3各类气体纯化装置宜设置在同一气体纯化间(站)内。若有特殊要求时,也可根据具体要求分别设置在各自的气体纯化间内;4气体终端纯化装置宜设置在邻近用气点处。10.2.4进入洁净厂房的气体管道控制阀门、气体过滤器、调压装置、压力表、流量计、在线分析仪等,宜集中设置在气体入口室。上海实验室洁净室检测认真负责