15.3.2有微振动控制要求的洁净室(区),其建筑结构的微振动控制设计,应符合下列规定:1建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上,且基础应有足够刚度;2应设置**的建筑结构微振动控制体系,并应与厂房主体结构分隔;3主体结构应根据微振动控制的要求,适当加大梁、柱、墙、基础等截面尺寸。15.3.3有强烈振动的设备和管道,宜采取主动隔振措施,并应符合下列要求.1宜采用隔振台(座);2应选用刚度适当的隔振器,3通往洁净室(区)的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性连接等隔振措施。单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。浙江压差洁净室检测价格
6.1.5设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面、空间布局和构造,应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设施安装和维修的要求。6.1.6设有技术夹层、技术夹道的洁净厂房,技术夹层、技术夹道的建筑设计应满足各种风管和各种动力管线安装和维修的要求。穿越楼层的竖向管线需暗敷时,宜设置技术竖井。技术竖井的形式、尺寸和构造应满足风管、管线的安装、检修和防火要求。6.1.7对兼有一般生产区和洁净室(区)的综合性厂房,厂房的平面布局和构造处理,宜避免人流、物流运输及防火方面对洁净生产环境带来不利影响。浙江压差洁净室检测价格洁净室的发展与现代工业、高新技术密切联系在一起。
(1)洁净厂房是现代科学技术发展的产物。随着科学技术的日新月异,新技术、新工艺、新产品不断出现,产品精密度的日益提高,对无尘提出了越来越高的要求。目前,洁净厂房已广泛应用于电子、生物制药、宇航、精密仪器制造等重要部门。(2)洁净厂房的空气洁净度对有净化要求的产品质量有很大影响。因此,必须保持净化空调系统的正常运行。据了解,在规定的空气洁净度下生产的产品合格率可提高约10%~30%。一旦停电,室内空气会很快污染,影响产品质量。(3)洁净厂房是个相对的密闭体,由于停电造成送风中断,室内的新鲜空气得不到补充,有害气体不能排出,对工作人员的健康是不利的。
7.1.1洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7.1.2气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。7.1.3有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置:1运行班次或使用时间不同;2生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响;3对温、湿度控制要求差别大;4洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊;5净化空调系统与一般空调系统,6系统风量过大的净化空调系统。在满足生产工艺的条件下,管道系统应尽量短。
7.2.1洁净厂房内的生产工艺一般为超精细加工或要求无菌无尘,对给水系统要求较为严格,如大规模集成电路的超纯水、医药工业的无菌水等。而且有的水系统的造价高、管理要求严格,因此应根据不同的要求设置系统(如纯水的不同水质要求,冷却水的不同水温、水质要求等),以便重点保证要求严格的系统,也利于管理和节省运转费用。目前设在洁净厂房中的生产工艺大多为技术发展迅速的工业,如大规模集成电路、生物制药等。这些生产部门产品升级换代快,生产工艺变化多。因此,在管道设计中应留有充分的余量。洁净室(区)内工业管道不应穿越无关的房间。浙江压差洁净室检测价格
根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区。浙江压差洁净室检测价格
空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量;3中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段;4高效(亚高效)空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端;超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端;5同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率应相近;6同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近;7对化学污染物有控制要求的洁净室(区),在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置;8高效(亚高效、超高效)空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作。7.4.2风机过滤器机组的设置应符合下列要求:1应根据空气洁净度等级和送风量选用;2应按洁净室(区)内生产工艺对气流流型的要求布置,3终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定;4送风量应能调节;5应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时,外壳强度应满足检修要求。浙江压差洁净室检测价格