洁净室(Clean Room),亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净程度和控制污染的持续稳定性,是检验洁净室质量的标准,该标准根据区域环境、净化程度等因素,分为若干等级,常用的有国际标准和国内区域行业标准,一些净化工程公司,在通行标准之外,还设有自身执行的高于国际化通行标准的净化指标,净化能力和环境适应力远超国际品牌。安装验证的内容包括多项检验信息和地点、辅助设施和设备的安全性能的介绍。安徽实验室检测认真负责
1、高效过滤器完整性
a)生物安全柜检测的风机和灯,去掉过滤器的散流装置和保护盖。安放气溶胶发生器,将气溶胶导入安全柜,产生均匀分布的高效过滤器上游气流。
b)打开气溶胶光度计,进行调整;对含有气溶胶的高效过滤器上游气流进行测试,至少应有20ug/L PAO 。
c)光度计探头在过滤器下游距过滤器表面不超过25mm,以小于50mm/s的扫描速率移动,使探头扫测过滤器的整个下游一侧和每个组合过滤片的边缘,扫测路线应略微重叠。
2、噪声
a)打开安全柜的风机和照明灯,在安全柜前面中心水平向外300mm、工作台面上方380mm处测量噪声;
b)关闭安全柜的风机和照明灯,如果有室外排气风机,让其继续运行,在相同位置测量背景噪声。 北京实验室环境检测认真负责洁净室(CleanRoom),亦称无尘车间、无尘室或清净室。
洁净室空气中悬浮粒子检测采样时应注意的问题①静态测试时室内的测试人员不得多于2人测试报告中应标明测试时所采用的状态;②对于单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始非单向流要不少于30min后开始;③必须按照仪器的检定周期定期对仪器作检定。视仪器本身特点、使用频率、使用环境等决定;④每个采样点可按所计算确定的**小采样量采样空气。但一般根据所使用的粒子计数器的采样量及时间设定通常实际采样都可能高于**小采样量。⑤测定时,进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋室,在室内尽量处于下风处并静止少动。
FFU英文全称为(Fan Filter Unit),中文专业用语为风机过滤机组。 FFU风机滤网机组可模块化连接使用,使用FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。
FFU设有初、高效两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境。它为不同尺寸大小,不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中,即可提高洁净度级别,降低噪音和振动,也可降低造价,安装维护方便,是洁净环境的理想部件。 设备及仪器方面:先进的设备和技术,可确保测试结果准确。
(三)洁净室控管之项目
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类
1.乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再运行,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
一般空调系统对系统的气密性渗气量虽有要求。安徽实验室环境检测技术好
各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。安徽实验室检测认真负责
洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下,室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证洁净室正压值,送风、回风和排风机比较好联锁,系统开启时先启动送风机,再启动回风机和排风机;系统关闭时先关排风机,再关回风机和送风机,以防止洁净室在系统开启和关闭时受到污染。
维持洁净室正压所需的风量主要根据维护结构密闭性好坏来确定。我国洁净室建设初期由于围护结构密闭性较差,要维持≥5Pa的正压就要2~6次/h送风量;目前维护结构密闭性已大为提高,维持同样的正压只要1~2次/h送风量;维持≥1OPa也只要2~3次/h送风量。 安徽实验室检测认真负责
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