复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
它不仅对室内空气的温度、湿度、风速有一定要求,而且对空气中的含尘粒数、细菌浓度等均有较高的要求。辽宁洁净室环境检测方便客户
乱流型气流:孔板顶送和密集散流器顶送的特点与前述相同:侧送的优点易于管道布置,无需技术夹层,造价低,有利于旧厂房改造,缺点是工作区风速较大,下风侧比上风侧含尘浓度高;高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点,但洁净气流扩散缓慢,工作区气流较均匀;不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时,也可使得工作区气流较均匀;但在系统非连续运行地情况下,扩散板易积尘。广东电子厂房环境检测服务至上非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A),单向流和混合流洁净室(区)的噪声级不应大于65dB(A)。
单向流洁净室的原理和特性
⑴定义
单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。
⑵原理
单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染排出。
要保证活塞作用的实现,*重要一点是高效过滤器必须满布。当然,过滤器是有边框的,顶棚也有边框,不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度:
正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%,水平单向流应小于40%,否则就是局部单向流了。
⑶特征指标
①流线平行度(流线平行性)
流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行(在0.5m距离内线间夹角不能小于15°),又要求流线尽可能垂直于送风面(其倾角*小不能小于65°)。
②乱流度(速度不均匀度)
速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。
1、按洁净度级别划分为1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级等级别。2、按气流组织分类,洁净室可分为三类:单向流、层流、洁净室。沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。其中与水平面垂直的单向流是垂直单向流与水平面平行的单向流是水平单向流。乱流非单向流洁净室凡不符合单向流定义的气流的洁净室。混合流洁净室:单向流和非单向流组合的气流的洁净室。3、按所需控制的空气中悬浮微粒分类,可将洁净室分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室,它主要控制参数是温、湿度、风速、气流组织、洁净度。生物洁净室它与工业洁净室一样所不同的是控制参数中增加了控制室内细菌的浓度。4、洁净室的检测状态可分为三类。(1)空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。(2)静态已全部建成的设施齐备的洁净室中安装完生产设备并按业主供应商商定的方式试远转,但场内无生产人员。(3)动态设施处于按规定方式运行的状态并有规定的人员在场以规定的方式工作。蔚亚科技第三方检测专业可行,性价比佳。
通过测量特定光路下气溶胶引起的散射光强就能达到检测气溶胶浓度的目的。与粒子计数器不同,气溶胶光度计并不是根据颗粒引起的光学脉冲数量计算颗粒的数量,而是根据气溶胶的光散射强度来直接计算气溶胶浓度。因此,气溶胶光度计可以直接检测气溶胶浓度较大的环境,而尘埃粒子计数器在检测该环境时则需要串联稀释器对粒子计数器进行保护。由于在气溶胶浓度很低的空气中气溶胶光度计的相对误差会增加,因此在进行高效过滤器泄漏检测时,光度计法适用于较高的气溶胶浓度环境!洁净室(区)的日常运行和维护管理是保障其受控状态持续的重要条件。山东口罩生产车间环境检测技术好
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噪声超标问题噪声超标,可能是风管太小,以致于气流速度过高,气流产生噪声,通常工作面高度气流速度应该控制在0.25m/s左右的。我们还可分析于消声系统问题,如发现未装消声器、劣质消声器、送风系统消声器配置不合理。也可能为FFU单机噪声偏高。或者是环境背景噪声影响,如工艺设备噪声、气体管道阀门泄漏、动力设施噪声源传播等。此外,我们还可以考虑可能是标准指标不合适:通常控制值单向流<65dB(A),非单向流<60dB(A)。辽宁洁净室环境检测方便客户
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