江苏万级无尘车间建设

    一级RO后）代替洁净蒸汽加湿器，这是一举两得的好办法，因为喷淋纯水既可以达到加湿的目的，又可以去除空气中对IC牛产有影响的杂质气体。新风处理机组还应保证无尘车间内的正压，所以新风机组内的风机应配置变频装置，以无尘车间内的正压值控制风机转速。新风集中处理有诸多***，但在寒冷地区使用时则特别要注意盘管的防冻问题。另外因8”、12”IC生产对环境的可靠性有极高的要求，新风处理机组必须设一台备用机组。8”、12”IC厂房无尘车间通常采用FFU系统（如图8），室内空气经干表冷器冷却处理后与新风混合，再由设在房问顶部的FFU加压、过滤后送入房间。还有一种情况是干表冷器设在上夹层，空气处理过程略有不同，其过程为：新风和回风混合，再经千表冷器冷却，**后由FFU加压、过滤后送人无尘车间。干表冷器主要是消除无尘车间内的显热负荷，根据无尘车间内的温度控制对应区域的干表冷器以保证房问的温度。采用该系统应注意以下几点：a)为得到精确的温湿度控制，应尽量减少Ballroom内各区域之问的气流交叉，所以各区域的干表冷器结构形式、空气侧阻力应尽量一致。b)考虑室内湿度精度及表冷器空气侧阻力等因素，应确保干表冷器在干工况下工作。关于无尘车间问题，欢迎咨询上海中湖。江苏万级无尘车间建设

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1什么是高架地板高架地板的特点什么是高架地板？高架地板又叫做耗散型静电地板。当它接地或连接到任何较低电位点时，使电荷能够耗散，以电阻在10的5次方到10的9次方欧姆之间为特征。高架地板有什么特点呢？什么是高架地板高架地板又叫做耗散型静电地板。当它接地或连接到任何较低电位点时，使电荷能够耗散，以电阻在10的5次方到10的9次方欧姆之间为特征。高架电地板一般根据基材和贴面材料不同来划分，基材有钢基、铝基、复合基、刨花板基（木基）、**钙基等；贴面材料有防静电瓷砖、三聚氰胺（HpL）、pVC等。高架地板主要是以可调支架、横梁、面板等组合拼装而成的，支架、横梁、面板的技术性能应符合设计要求和现行规范规定。高架地板的特点1、2什么是高架地板什么是高架地板？高架地板有哪些种类？高架地板的特点有哪些？下面就由我们来为大家一一解答。什么是高架地板高架地板又叫做耗散型静电地板。当它接地或连接到任何较低电位点时，使电荷能够耗散，以电阻在10的5次方到10的9次方欧姆之间为特征。高架电地板一般根据基材和贴面材料不同来划分，基材有钢基、铝基、复合基、刨花板基（木基）、**钙基等；贴面材料有防静电瓷砖、三聚氰胺（HPL）、PVC等。

    除了习惯、经验等非技术性因素之外，不外乎有以下几个原因：a)灵活性：在三种系统中，FFU系统的灵活性是**好的，这点特别适应当今IC生产技术飞速发展的要求，由于随着产品生产工艺的发展洁净度等级需求也会不断严格。隧道系统几乎谈不上灵活性，且隧道系统是以操作区作为送风、设备区作为回风的空气循环系统，但8”、12”IC厂房无尘车间日前基本上都采用Ballroom方式，，f：分操作区和设备区，因此隧道系统也就不适用J；集中送风系统有一定的灵活性，但洁净系统改造时必须停机、停产。如果要提高局部区域的洁净度，除了无尘车间顶部要增加HEPA/ULPA过滤器外，还需增设循环机组，从而使改造难度大，而且对生产有较大影响；采用FFU系统，局部增加FFU台数或移动FFU位置均很容易实现，而且可以在不停产的情况下进行，对生产几乎没有影响。b)调控性：和集中式送风系统相比，FFU系统各区空气交叉的情况相对要少，可以实现较高精度的温湿度控制。随着电机与网络控制技术的发展，FFU很容易实现单台控制，每台FFU出风速度在一定范围内几乎可以任意调节，这样就很容易解决大跨度无尘车间远近端气流不均匀的问题。另外FFU还可以根据实际使用需要停开或少开启一部分。进入无尘车间的人员需穿防静电无尘服，且全程禁止触摸面部，避免产生微尘污染。

有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环使用：固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序；用有机溶媒精制的原料药精制、干燥工序；放射品生产区；病原体操作区；工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序；固体口服制剂的颗料。节能原则：无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。无尘车间的管道、风口均做密封处理，避免积尘和气流泄漏。工程无尘车间市场

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