江苏无尘车间案例

无尘车间余压阀控制余压阀安装简单，价格低廉，控制的灵敏度也可以。但缺点是：长期使用后关闭会不严;破坏室内平洁、光滑表面，多一个积尘处。使用时按HVAC系统可能相当于以室压维持控制风量或回风量，在控制回风时一般常以走廊作为回风道，要注意交叉污染。五、无尘车间压差控制方式及其系统的选择应与要求相适应当前对工业无尘车间以及一般（+）压生物无尘车间而言，视要求采用定风量控制及闭环控制系统。其闭环控制系统一般采用“直接压力”控制。其HVAC系统的送、回风机或单风机的风量匹配调节的措施为：（1）对定风量控制系统，基本都采用手动风阀调节。（2）对闭环控制系统，一般亦采用手动调节，利用系统静压及风机特性的自平衡而不设自动风量调节装置。（3）风量变化大以及要求高的，亦有采用以静压控制相应风阀进行匹配联动的自动调节或以流量追踪控制进行风量调节等，但一般采用不多。相比之下，实验室、生物安全实验室等直流系统的负压控制系统，在当前为节能需进行变风量控制时，往往要求更较可靠、灵敏及快速响应的控制系统，如采用变风量文丘里控制阀以及相应的流量追踪与“直接压力”控制相结合的集成系统，以保安全。无尘车间有严格的分级标准，常见的如 ISO 14644-1 标准，将洁净度分为 ISO 1-9 级，数字越小，洁净度越高。江苏无尘车间案例

    PTFE)或低硼低有机物的玻璃纤维制作，另外目前常用的DOP测试方法以及钠焰测试也是不能接受的，SEMATECH推荐采用以去离子水雾携带的固态聚苯乙烯(polystyrenelatex，PSL)小球作为测试粒子；系统中的吸音材料尽量不用玻璃纤维，可以用发泡金属等材料代替；上静压箱用无密封的烤漆板制作；制作风管的材料必须脱脂，密封垫用丁基橡胶：无尘车间空间内的电缆也应采用AMC释放低的材料制作。b)控制室外侵入：首先无尘车间空间等应密闭，使周围环境的AMC不渗入无尘车间；其次应防止室外空气中的AMC进入无尘车间内，为此有两个方面需要考虑，***是新风人口应合理，尽量远离排风口及其他污染源，另外建厂地点应合理。第二是IC厂所在地的室外空气中如含有对生产工艺敏感的AMC，则在室外空气送入无尘车间前应进行可靠的处理，根据室外空气中AMC的种类、浓度以及工艺要求在新风处理机组中设置相应的化学过滤器，也可以在新风处理机组中设淋洗装置加以去除。c)控制扩散：对于生产中必须要使用化学品的工艺设备应尽量采取密闭措施，并设置可靠的排风，以减少化学品的散发。另外合理的气流**对防止扩散也很重要，洁净系统设计时应充分考虑减少各区域的气流交叉。江苏无尘车间案例无尘车间的送风量远大于普通车间，通过持续换气保持洁净环境稳定。

    c)可靠性：采用集中送风系统只要一台送风机组出现故障，整个系统的洁净度就得不到保证，除非有备用机组能立即投入运行；对于隧道系统一旦某一台循环机组停止运行，该循环机组所负担的洁净区域的洁净度、温湿度就无法保证，生产也只好停止；而FFU系统这方面的风险相对要小得多，即使有一台FFU出现故障，其影响面很小另外随着网络监控技术的发展，FFU系统因数量多而造成维护不便的情况也已得到改善。d)气密性与空间利用：FFU系统由于风机直接设在工作区上方，因此工作区相对于回风道及上静压箱为正压，工作区以外污染物极少因泄漏进入上作区：相反的，集中送风系统和隧道系统工作区相对于上静压箱为较大的负压，因此泄漏的风险性比FFU系统要高得多。另外采用集中送风系统及隧道系统，上静压箱与周围环境的压差很大，极易发生空气泄漏，因此对上静压箱的气密性要求很高，基本上不允许管线进人。而FFU系统的上静压箱相对于周围环境只是微正压，上静压箱内可以布置或穿越诸如排风和排*等管道，使空间得到合理利用。e)能耗问题：一些统计资料表明，在IC厂房中，维持生产环境洁净度的空气循环过滤系统是除工艺设备外的耗能**大的系统。

在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，没有返回，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。在单向流洁净室以及单向流净化设备中，可以发现沿壁的和两个过滤器搭接处下方的反向气流。这种气流将把下方的污染传输到上部再送下来，破坏了上述“活塞流”的状态，危害极大。对于和外界有开口相通的局部净化设备，例如洁净工作台，这种气流将引射外界污染气流，在设计上一定要减小过滤器边框处所占的无效面积，更要设法使空间的壁面尽量接近过滤器有效迭风截面。无尘车间准确控制温度和湿度在极小范围内波动，以满足生产工艺需求。

工业无尘车间：主要控制空气粉尘颗粒对工作对象的污染，一般保持内部正压。适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）、航空航天工业、高纯化学工业、原子能工业、光磁制品工业（光盘、薄膜、磁带生产）、液晶显示器（液晶玻璃）、计算机硬盘、计算机磁头生产和其他行业。主要控制有生命的颗粒（细菌）和无生命的颗粒（灰尘）对工作物体的污染，分为两类：A、普通生物无尘室：主要控制微生物（细菌）物体的污染。同时，内部材料应能承受各种消毒剂的侵蚀，一般应保证内压。从本质上讲，其内部材料应能承受工业无尘室的各种灭菌处理。实例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料生产、动物实验室、理化实验室、血站等。无尘车间有什么特点？上海中湖洁净告诉您。福建万级电子无尘车间净化安装

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    除了习惯、经验等非技术性因素之外，不外乎有以下几个原因：a)灵活性：在三种系统中，FFU系统的灵活性是**好的，这点特别适应当今IC生产技术飞速发展的要求，由于随着产品生产工艺的发展洁净度等级需求也会不断严格。隧道系统几乎谈不上灵活性，且隧道系统是以操作区作为送风、设备区作为回风的空气循环系统，但8”、12”IC厂房无尘车间日前基本上都采用Ballroom方式，，f：分操作区和设备区，因此隧道系统也就不适用J；集中送风系统有一定的灵活性，但洁净系统改造时必须停机、停产。如果要提高局部区域的洁净度，除了无尘车间顶部要增加HEPA/ULPA过滤器外，还需增设循环机组，从而使改造难度大，而且对生产有较大影响；采用FFU系统，局部增加FFU台数或移动FFU位置均很容易实现，而且可以在不停产的情况下进行，对生产几乎没有影响。b)调控性：和集中式送风系统相比，FFU系统各区空气交叉的情况相对要少，可以实现较高精度的温湿度控制。随着电机与网络控制技术的发展，FFU很容易实现单台控制，每台FFU出风速度在一定范围内几乎可以任意调节，这样就很容易解决大跨度无尘车间远近端气流不均匀的问题。另外FFU还可以根据实际使用需要停开或少开启一部分。江苏无尘车间案例