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微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面，分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性，介绍了膜片泵、射流/ 扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展，并总结了当前存在的技术障碍。结果表明，目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后，其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低，但具有低功耗、可集成优势，对便携式系统和高真空微系统十分必要。微型蠕动泵则更适用于一些对液体搅动小、需要高密封性或可逆性的场合。库存真空泵量大从优

蠕动泵的工作原理蠕动泵的工作原理是，通过旋转的滚轮或转子交替挤压和释放弹性输送软管来泵送流体，使管内形成负压，流体随之流动。具体来说，蠕动泵通常由驱动器、泵头和软管三部分组成。当蠕动泵工作时，滚轮或转子沿着软管的长度方向滚动，在滚动的过程中会挤压软管，使得软管内部形成自吸压力，将液体吸进软管中。随着滚轮或转子的转动，将液体运送到出液端，同时将液体推送到出料口，实现流体的输送。泵内部不需要真空泵油和润滑油，对工作介质不产生污染，允许介质富含水汽，无需维护；3. 任意方向安装，体积、噪音小，真正做到了便携、袖珍。内蒙古真空泵销售方法无油活塞式真空泵是一种活塞式真空泵，用来抽除密封容器中的气体，以获取真空的基本设备。

蠕动泵分类：蠕动泵的操作和使用，分为：1.基本型蠕动泵：具备蠕动泵的基本控制功能，主要是控制蠕动泵的电位器调速。可按键调节、数码显示转速、启停、正反转、转速调节、掉电记忆、外控输入等功能，还设有全速键，可实现作用物地快速填充或是排空。2.流量型蠕动泵：除具备基本型功能之外，还增加了流量显示、通讯、定时定量等功能。此类蠕动泵能通过校正功能来保证流体较高的精度，还可设置分配的参数，以此来实现自动分配灌装。3.分配型蠕动泵：分配型的蠕动泵其实与流量型的非常相似，还具备了历史参数储存能，可及时调取常用参数设置，既方便又快捷。4.工业型蠕动泵：此类蠕动泵采用大扭矩，免维护的直流无刷电机驱动，主要应用于工业生产过程中大流量传输的转速泵。5.防爆型蠕动泵：大扭矩，免维护交流减速电机驱动，可以变频器调速。在传播粘稠液体或者传输对剪切特殊流体的时候效果更佳。6.定制型(OEM)蠕动泵：体积小，适合精度不高的各种环境下的小流量液体输送。客户可根据自身设备的需求,设计不同的蠕动泵驱动电路配套使用。7.手持型蠕动泵：可实现野外取样、在线监测取样等，能充分保证取样的洁净，可采集高粘度液体、含颗粒液体分层取样，操作简便且易于清洗。

无刷真空泵VML系列微型无刷直流真空泵,微型无刷直流气泵,无刷电机真空泵,调速真空泵,气体采样泵,长寿命真空泵微型气体采样泵,微型真空泵--无刷电机，长寿命--（VML系列）用途：一、可用于在线气体采样，要求长时间连续工作的场合。对密闭容器抽真空,气体循环,抽气,吸气等等。二、抽气端允许带大负载，甚至堵死也能正常工作；排气端必须通畅；不能布置大阻尼元件。三、无污染传输，免维护；可以24小时连续运转，低噪音，允许介质富含水汽，耐高温。无刷直流真空泵VML几大特点 ：1.长寿命：全部运动部件都使用耐久型产品，配合进口无刷电机，全提高泵寿命。2.刷电机技术：除提供2根动力线接线(正负极)外，额外提供“PWM调速、电机反馈、电机启停”三根信号线，真正做到“全功能”；可通过占空比来调节电机转速、改变泵的输出流量，可做到始终保持流量的恒定，也可以忽快忽慢、随心所欲。3.低干扰：不会有杂波污染电源、干扰电子元件，也不会对电路有任何干扰。蠕动泵具有无污染、精度高、可迅速更换泵管、流体可逆行、可以干运转、维修费用低等特点。

蠕动泵的系统，电机和泵头。泵头里有一个软管和滚轮。滚轮是用来挤压和释放软管，当滚轮旋转时，就会驱使流体在软管中流动系统通过改变电机的方向和速度来调节流体的流速和方向，其工作原理就是依靠多个滚轮对软管施加压力，伴随着滚轮的移动，管内形成负压，促使其内部的流体向前移动。蠕动泵的运动部件不会直接与流体接触的，所以不会产生交叉污染。软管是与流体接触的部件，因此对泵内部件进行清洁和是非常容易的。还有就是蠕动泵具有可防止回流和虹吸效应、精度高，并且能实现双向同等流量输送等。微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。加工真空泵规格尺寸

微型真空泵VAK系列是PK系列的升级产品，进行了一些升级，外观更精致，光滑 尺寸更精确；寿命更长，品质高。库存真空泵量大从优

微型化真空泵技术及发展本节简要介绍一些研究进展较为明显，或当前关注度较高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵。2.1微型化膜片泵典型的单级膜片泵通常由一个腔体、一个泵膜、两个阀门和一个致动器组成，它利用泵膜的往复运动营造腔体容积的周期性变化，利用单向阀门控制气体流向，实现气流的定向引入、输出。膜片泵的原理、结构相对简单，膜片材料可使用硅、电介质和多种聚合物，驱动机制可采用静电、压电、电渗、气动和磁力等[16]。关键部件的材料及加工都兼容MEMS工艺，使得膜片泵比较容易和其他微型器件集成，构建片上型系统[17]。库存真空泵量大从优