自动化真空泵技术指导

蠕动泵市场发展空间：蠕动泵又称为计量泵、恒流泵等，是一种液体传输分析仪器设备，主要由驱动器、泵头、泵管三部分组成。蠕动泵主要用于输送具有粘稠、强腐蚀性、纯度高、带颗粒等特征的介质，其具有结构紧凑、易于安装、操作便捷、精度高、维修费用低等优势，在化工、采矿、食品、医疗设备检测、水处理、造纸、冶金等领域应用较广。蠕动泵产品丰富，根据类型不同，蠕动泵可分为基本型蠕动泵、防爆型蠕动泵、流量型蠕动泵、分配型蠕动泵、手持型蠕动泵、定制型（OEM）蠕动泵等；根据应用领域不同，蠕动泵可分为实验用蠕动泵、工业用蠕动泵、医用蠕动泵等。总体来看，蠕动泵下游需求增长动力主要来源于医学领域，其次为水处理领域。宏观真空泵抽气速率高 极限真空高、抽气效率高，微型化后，由于微加工艺兼容性原因，可预期到其性能会下降。自动化真空泵技术指导

微型化真空系统需要相互协调的全微型化元器件，其中比较主要的外围器件就是真空泵，真空泵微型化分析按照工作原理不同，真空泵主要分为气体输运泵和气体捕集泵。输运泵通过气体不断吸入和排出达到抽气目的，常见的有膜片泵、旋片泵、扩散泵和分子泵；捕集泵通过气体吸附剂或低温表面吸附、捕集气体实现抽气，主要包括离子泵、升华泵和低温泵等[9]。宏观真空泵抽气速率高、极限真空高、抽气效率高，微型化后，由于微加工工艺兼容性原因，可以预期到其性能会下降。同时研究表明，并非所有宏观真空泵都适合微型化。自动化真空泵技术指导微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。

蠕动泵又称软管泵，是一种容积泵。蠕动泵是通过滚轮压缩和释放软管而实现泵送流体的目的，常常被用在要求比较严格的行业，例如实验室、制药和医疗等行业，以及泵送腐蚀性或粘性液体的化工行业。当软管被挤压时，流体就会被迫在管中流动，当滚轮离开后软管又会自然打开，更多的流体会被吸入软管。流体在软管中向前移动的这种现象类似于人体的胃肠道消化过程，该过程被称为蠕动，所以这种泵被形象地称为蠕动泵。一整个蠕动泵包含一个控制系统，一个电机和一个泵头。泵头里有一个软管和滚轮.

微型真空泵简介微型真空泵是一种小型、高性能、低噪声的真空泵，通常用于实验室、医疗、电子、半导体等领域，以满足小型、高功率的真空要求。微型真空泵通常由电机、泵头、过滤器、控制器等部件组成。二、常见参数解释1. 流量流量是指单位时间内液体、气体或蒸汽等在管道中通过的量。在微型真空泵中，通常使用L/min（升/分钟）或ml/min（毫升/分钟）作为流量单位。流量的大小决定了真空泵吸取空气的速度和能力。通常，流量越大，真空泵的吸气能力越强。2. 压力压力是指单位面积上的力大小，在微型真空泵中，通常使用KPa或mbar作为压力单位。压力与真空泵在固定时间内排出的气体量成反比。也就是说，压力越大，真空泵排出气体的速度越流畅。.功率功率是指单位时间内所完成的功的多少。在微型真空泵中，通常使用W为单位。功率越大，真空泵的排气速度越快。4. 大的真空度大的真空度是指真空度的高的限制值。真空度是单位面积上的压强，通常使用Pa或mbar作为单位。大的真空度将决定真空泵的使用范围。如果需要更高的真空度，需要采用更高级别的真空泵。5. 噪音噪音是指由微型真空泵发出的声音大小。因此，需要选择低噪音的微型真空泵。蠕动泵工作时滚轮或转子沿软管长度方向滚动，滚动过程中挤压软管，使软管内形成自吸压力将液体吸进软管中。

什么是无油活塞式真空泵？无油活塞真空泵它是连杆通过轴承与偏心压装在一起，偏心轮锁紧在电机轴上，由于转轴的旋转，带动连杆往复运动，从而实现空气的的吸入、压缩和排出过程。空气进入进气管在进入压缩机内有电机的转动让活塞往复运动，把空气压缩。无油活塞真空泵运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当汪室在等舸内从存端向右端话动时。由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减少，而形成抽气过程，此时容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到靠右位置时，气缸内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随着活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压强达到或稍大于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再自左向右运动时，又吸进一部分气体，重复前一循环，如此反复下去，直到被抽容内的气体压力达到要求时为止。微型真空泵的类型和结构：不同类型和结构的微型真空泵，其真空度存在差异。自动化真空泵技术指导

蠕动泵是相对精密的仪器，主要靠泵壳保持较高精度的间隙，从而的挤压泵管。自动化真空泵技术指导

微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面，分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性，介绍了膜片泵、射流/ 扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展，并总结了当前存在的技术障碍。结果表明，目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后，其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低，但具有低功耗、可集成优势，对便携式系统和高真空微系统十分必要。自动化真空泵技术指导