贵州温控探针台机构

滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养：由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3℃，湿度≤70％，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。贵州温控探针台机构

探针台市场占有率及行业分析：针对于电学量测分析设备，探针台则是众多量测设备之一，探针台也是不可或缺的一部分，就目前国内探针台设备的占有率来讲，好的型产品主要集中在欧美以及日本品牌，中端设备主要集中在品牌，而对于量测精度而言，产设备具有一定的优势，我公司探针台系列产品量测组件均采用欧美品牌设备，所以在量测精度上来讲，可以与欧美及日本品牌相媲美，价格适中，应用普遍，并与国内多家高校及研究所合作。这是由于射频传输线和电压探针之间缺乏阻抗匹配，插入常用电压探针会使得结果出现很大偏差。贵州温控探针台机构探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，负责晶圆的输送与定位。

手动探针台应用领域：Failureanalysis集成电路失效分析；Waferlevelreliability晶元可靠性认证；Devicecharacterization元器件特性量测；Processmodeling塑性过程测试(材料特性分析)；ICProcessmonitoring制成监控；PackagepartprobingIC封装阶段打线品质测试；Flatpanelprobing液晶面板的特性测试；PCboardprobingPC主板的电性测试；ESD&TDRtestingESD和TDR测试；Microwaveprobing微波量测(高频)；Solar太阳能领域检测分析；LED、OLED、LCD领域检测分析。

据SEMI数据统计，2020年及2021年，全球半导体测试设备市场规模或将分别达到52.2亿美元及56.1亿美元。随着国内半导体技术的发展，多个晶圆厂及实验室的建立，国内探针台市场规模2019年约为10.25亿元，2022年将增长到15.69亿元。随着半导体行业的迅速发展，半导体产品的加工面积成倍缩小，复杂程度与日俱增，生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用机械、光学、物理、化学等学科技术，具有技术壁垒高、制造难度大及研发投入高等特点。探针台属于重要的半导体测试装备，在整个半导体产业的多个环节起着重要作用，是晶圆厂和元器件封测企业的重要设备之一。随着自动化技术的飞速发展，市场对自动化探针台需求旺盛。探针台可编程承片台则安装在动子之上。

自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试，根据测试结果评定上一道工序的工艺质量，并指导下一道工序。从全球市场看，半导体探针台设备行业集中度较高，目前主要由国外厂商主导，行业呈现较高垄断的竞争格局。鉴于自动化探针台是光、机、电高度一体化的产品，国内在这一方向研究几乎为零，市场主要被一些国外的大公司垄断。2017年投产X系列半自动探针台并成功推向市场，成功填补国内该研发生产领域的空白。圆片移动到下一个芯片的位置，这种方法可以让圆片上的每一个芯片都经过测试。贵州温控探针台机构

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探针台需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15～25℃，相对湿度小于50％的环境中，其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5℃，气压为0．4±0．04MPa。相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。贵州温控探针台机构