探针测试台x-y工作台的分类:纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,工作台都是其主要的部分。江西射频探针台配件厂家
半自动探针台主要应用于需要精确运动、可重复接触和采集大量数据的场合。一些公司也使用半自动探针系统来满足其小批量生产要求。半自动探针系统的组成部件大部分与手动探针台相似,但载物台和控制装置除外。晶圆载物台通常是可编程的,并通过软件与电子控制器来控制移动与方位。软件为探针台系统增加了很多功能,使用者可以通过软件或机械操纵杆以各种速度向任何方向移动载物台,程序可以设置映射以匹配器件,可以选择要检测的器件。江西射频探针台配件厂家一般,信号路径电阻被用来替代接触电阻,而且它在众多情况下更加相关。
如何判断探针卡的好坏:1.可以用扎五点来判断,即上中下左右,五点是否扎在压点内,且针迹清楚,又没出氧化层,针迹圆而不长且不开叉.2.做接触检查,每根针与压点接触电阻是否小于0.5欧姆.3.通过看实际测试参数来判断,探针与被测IC没有接触好,测试值接近于0。总之,操作工只要了解了探针卡故障的主要原因:1.探针氧化.2.针尖有异物(铝粉,墨迹,尘埃).3.针尖高度差.4.针尖异常(开裂,折断,弯曲,破损)。.5.针尖磨平.6.探针卡没焊好.7.背面有突起物,焊锡线头.8.操作不当。平时操作时应注意:1.保护好探针卡,卡应放到氮气柜中.2.做好探针卡的管理工作.3.规范操作,针尖不要碰伤任何东西。同时加强操作人员的技能培训。有利于提工作效率和提高质量。
晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求,一般是要求高效准确,能够捕捉有效缺陷,实现实时检测。较为普遍的表面检测技术主要可以分为两大类:针接触法和非接触法,接触法以针触法为象征;非接触法又可以分为原子力法和光学法。在具体使用时,又可以分为成像的和非成像的。探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。
探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。从功能上来区分有:高温探针台,低温探针台,RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。江西射频探针台配件厂家
探针台存放在氮气柜中,防止探针的加快氧化。江西射频探针台配件厂家
高性能密闭微暗室有效屏蔽:腔体采用导电的处理工艺,确保了各零件之间的导通状态从而达到全屏蔽的效果,降低系统噪声,有效屏蔽外界干扰,并提供低漏电流保护,为微弱电信号测试提供了合理的测试环境;同时也注意零件配合以及装配的同时,保证内部的密封性。对于一些特殊的器件/晶圆需要在高低温的情况进行环境的模拟测试,有效地避免了空气中的水分在样品上结露或者结霜的存在,通过气流的特性,填充满密封腔体内,使腔体里内的气体露的点进行降低直至到一定的点。江西射频探针台配件厂家