河北半自动探针台机构

半导体生产过程中的探测，可略分为三大类：1.参数探测：提供制造期间的装置特性测量；2.晶圆探测：当制造完成要进行封装前，在一系列的晶圆上(wafersort)测试装置功能；3.以探针台为基础的晶圆处理探测(FinalTest)：在出货给顾客前，对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后，即进入晶圆探测阶段，此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶，精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/Opads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后，探针台会将晶圆向上挪动，使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触，以进行探测。当测试完成，则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面，如此周而复始地循环着。上海勤确科技有限公司探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动。河北半自动探针台机构

探针治具的校准：我们希望校准过程尽可能的把测试网络中除DUT外所有的误差项全部校准掉，当使用探针夹具的方式进行操作有两种校准方法：1一种方式是直接对着电缆的SMA端面进行校准，然后通过加载探针S2P文档的方式进行补偿;2第二种方法是直接通过探针搭配的校准板在探针的端面进行校准。是要告诉大家如果直接在SMA端面进行校准之后不补偿探针头，而直接进行测量的话会带来很大的误差。探针厂商一般都会提供探针的S2P文档与校准片，校准片如下图所示，上面有Open、Short、Load及不同负载的微带线。河北半自动探针台机构探针台的维护与保养就显得尤为重要。

探针台是用于检测每片晶圆上各个芯片电信号，保证半导体产品品质的重要检测设备。因为我们需要知道器件真正的性能，而不是封装以后的，虽然可以去嵌，但还是会引入一些误差和不确定性。因为我们需要确定哪些芯片是好的芯片来降低封装的成本并提高产量。因为有时我们需要进行自动化测试，在片进行自动化测试成本效益高而且更快。一个典型的在片测试系统，主要包括：矢量网络分析仪，线缆，探针，探针定位器，探针台，校准设备及软件，电源偏置等。

X系列探针台：1、基板采用铸件为基准进行设计，使运动的稳定性得到提升，底板的重量同样在隔震性能上得到提高。2、运动系统采用的是日系高刚性、高精密的导轨和丝杆；反馈检测系统采用的是0.1μm分辨率光栅尺配合进口运动控制卡与电机形成整个闭环的反馈检测，以保证实现高精度高温度性的运动系统。3、整个四维运动设计成低重心的紧凑结构，保证其速率能到达70mm/s，并能提高运动过程中的加速。4、关键零件用导电的表面处理，保证每个位置能进行接地保护。上海勤确科技有限公司本上海勤确科技有限公司经营理念，将心比心，诚信经营，质量为先。

半自动型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y电动移动行程200mm/150mm；chuck粗调升降9mm，微调升降16mm；可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜；针座摆放个数6～8颗；显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"；可搭配Probecard测试；适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品。电动型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）；X,Y电动移动行程300mmx300mm；chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜；针座摆放个数8～12颗；显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“；材质：花岗岩台面+不锈钢；可搭配Probecard测试；适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品。探针尖磨损和污染都会对测试结果造成极大的负面影响。河北半自动探针台机构

定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上。河北半自动探针台机构

晶圆测试基本的一点就是：晶圆测试必须能够辨别芯片的好坏，并使合格芯片继续进入下面的封装工艺。为了确保芯片功能和成品率的有效测试，封装厂商和设备制造者需要不断探索，进而找到高精度、高效率和低成本的测试方法，并运用新的组装工艺要求对晶圆片进行探测，这些要求将引起设备和工艺过程的重大变化。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动，从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（低温探针台），RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。河北半自动探针台机构

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