晶圆探针器是用于测试集成电路的机器(自动测试设备)。对于电气测试,一组称为探针卡的微观触点或探针被固定在适当的位置,同时真空安装在晶圆卡盘上的晶圆被移动到电接触状态。当一个管芯(或管芯阵列)经过电气测试后,探针台将晶片移动到下一个管芯(或管芯),下一个测试就可以开始了。晶圆探针台通常负责从载具(或盒子)装载和卸载晶圆,并配备自动模式识别光学器件,能够以足够的精度对准晶圆,以确保晶圆上的接触垫和探针针尖之间的准确对准。重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤,而影响平面电机的步进精度及使用寿命。河北探针台机构
探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。从功能上来区分有:高温探针台,低温探针台,RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。河北探针台机构随着全球半导体行业市场规模不断扩大,半导体设备市场也呈增长趋势。
探针台大家不陌生了,是我们半导体实验室电性能测试的常用设备,也是各大实验室的熟客。优点太多了,成本低,用途广,操作方便,对环境要求也不高,即使没有超净间,普通的坏境也可以配置,测试结果稳定,客观。深受工程师们的青睐。手动探针台用途:探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。
如何判断探针卡的好坏:1.可以用扎五点来判断,即上中下左右,五点是否扎在压点内,且针迹清楚,又没出氧化层,针迹圆而不长且不开叉.2.做接触检查,每根针与压点接触电阻是否小于0.5欧姆.3.通过看实际测试参数来判断,探针与被测IC没有接触好,测试值接近于0。总之,操作工只要了解了探针卡故障的主要原因:1.探针氧化.2.针尖有异物(铝粉,墨迹,尘埃).3.针尖高度差.4.针尖异常(开裂,折断,弯曲,破损)。.5.针尖磨平.6.探针卡没焊好.7.背面有突起物,焊锡线头.8.操作不当。平时操作时应注意:1.保护好探针卡,卡应放到氮气柜中.2.做好探针卡的管理工作.3.规范操作,针尖不要碰伤任何东西。同时加强操作人员的技能培训。有利于提工作效率和提高质量。探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一。
晶圆测试基本的一点就是:晶圆测试必须能够辨别芯片的好坏,并使合格芯片继续进入下面的封装工艺。为了确保芯片功能和成品率的有效测试,封装厂商和设备制造者需要不断探索,进而找到高精度、高效率和低成本的测试方法,并运用新的组装工艺要求对晶圆片进行探测,这些要求将引起设备和工艺过程的重大变化。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动,从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。上海勤确科技有限公司周边生态环境状况好。河北探针台机构
负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。河北探针台机构
以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。探针台执行机构由探针座和探针杆两部分组成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋钮,控制固定在针座上的探针杆做三向移动,移动范围12mm,移动精度可以达到0.7微米。这样可以把探针很好的点到待测点上(说明探针是耗材,一般客户自己准备),探针探测到的信号可以通过探针杆上的电缆传输到与其连接的测试机上,从而得到电性能的参数。对于重复测试同种器件,多个点位的推荐使用探针台安装探卡进行测试。河北探针台机构