晶圆探针器是用于测试集成电路的机器(自动测试设备)。对于电气测试,一组称为探针卡的微观触点或探针被固定在适当的位置,同时真空安装在晶圆卡盘上的晶圆被移动到电接触状态。当一个管芯(或管芯阵列)经过电气测试后,探针台将晶片移动到下一个管芯(或管芯),下一个测试就可以开始了。晶圆探针台通常负责从载具(或盒子)装载和卸载晶圆,并配备自动模式识别光学器件,能够以足够的精度对准晶圆,以确保晶圆上的接触垫和探针针尖之间的准确对准。上海勤确科技有限公司终善的服务、及时的服务、正确的服务,服务到每一个客户满意。四川全自动探针台要多少钱
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台分类:探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。经济手动型根据客户需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可选);X-Y移动行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可选);chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离;显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选);显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选);探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关;可搭配Probe card测试;适用领域:晶圆厂、研究所、高校等。北京自动探针台服务上海勤确科技有限公司秉承专业、科技、快捷、准确、诚信的服务精神。
晶圆级半自动面内磁场探针台详细参数:垂直或面内磁场探针台,通用性设计;容纳12寸晶圆,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4组探针(RF或DC测试);提供Z轴探针平台快速升降功能,实现高效测试;磁场强度≥330 mT;直流探针(4组)或微波探针(4组);XY电控行程±150 mm,调节精度2μm;T轴手动调节±5°,小至调节精度5’。晶圆级半自动二维磁场探针台:详细参数可对晶圆施加垂直或面内磁场,兼容性设计;容纳12寸晶圆,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4组探针(RF或DC测试);提供Z轴探针平台快速升降功能,实现高效测试;磁场强度≥0.7 T;直流探针(4组)或微波探针(4组);XY电控行程±150 mm,调节精度2μm;T轴手动调节±5°,小到调节精度5’。
x-y工作台的维护与保养:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,x-y向工作台都是其很重心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。平面电机x-y步进工作台的维护与保养:平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。
半自动型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y电动移动行程200mm/150mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm;可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜;针座摆放个数6~8颗;显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2";可搭配Probe card测试;适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品。电动型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金);X,Y电动移动行程300mm x 300mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜;针座摆放个数8~12颗;显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“;材质:花岗岩台面+不锈钢;可搭配Probe card测试;适用领域:12寸Wafer、IC测试之产品。上海勤确科技有限公司会为您提供专业培训,科学管理与运营。四川全自动探针台供应商
探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节。四川全自动探针台要多少钱
手动探针台:普遍应用于,科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段,批量不是很大的情况,大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能:搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表,量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。用途:以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。四川全自动探针台要多少钱