半导体厂洁净室微污染，化学滤料供应商的精度要求

半导体厂洁净室微污染，化学滤料供应商的精度要求

半导体洁净室对空气的要求到了***：不只是要颗粒达标，微量的分子态污染气体也会影响良率。这种微污染控制，化学滤料供应商的精度要求远高于普通除臭——配方要纯、配床要准、监测要密，差一点都可能在晶圆上体现出来。

分子级污染为何关键

洁净室即使颗粒度达标，空气中微量的酸碱气体、有机蒸气仍可能在晶圆表面沉积，影响制程良率。这类污染物浓度极低、组分复杂，普通吸附材料要么精度不够，要么自身带尘带味，反而污染洁净环境。因此超净车间对滤料的洁净度和吸附精度都有苛刻要求，不能拿普通除臭滤料来凑。

高精度配床与监测

翡尔达环保科技的DCA系列干式化学吸附滤料从加拿大引进制造技术并结合自主研发，十多种不同化学组成、不同粒径的专有配方，可在多层滤料叠层箱体内按洁净室主要分子态污染物精细配床。对硫化氢、氯气等饱和吸附能力不低于30%、去除效率不低于97%，对二氧化硫去除率不低于95%。Filta-DCHS系统可配出口空气质量检测仪表，支持远程自动化监控，把微污染控制在阈值内。

洁净环境的配套

预过滤用初效、中效无纺布过滤器和过滤袋拦截颗粒，转轮除湿把进气相对湿度降到75%以下，避免湿度波动影响制程。系统免脱附再生、占地小，滤料失效后由专业公司定期更换，综合运行成本一般低于活性炭，契合洁净室长期连续生产，也不会为维护带来额外污染风险。

洁净室对分子级污染物有严格控制限，滤料本身不能脱附出微粒。DCA系列配方纯净、配床精细，多层箱体在高等级洁净室回风路径上运行。预过滤拦截颗粒，除湿稳定湿度，避免晶圆表面结露。系统免再生、占地小，不会给洁净室带来额外维护负担，也不影响制程连续运行，把微污染控制在良率安全线内。滤料本身不脱附微粒，多层箱体在洁净室回风路径运行，预过滤拦截颗粒、除湿稳定湿度，良率安全更有保障。

结语

半导体、电子工业超净车间净化，是精度要求比较高的化学滤料适用行业。选择有高精度配床能力的化学滤料供应商，翡尔达化学滤料守护洁净室分子级空气。如需滤料选型或系统方案咨询，欢迎联系翡尔达环保科技。