半导体超净车间腐蚀性气体控制，化学滤料供应商怎么选

半导体超净车间腐蚀性气体控制，化学滤料供应商怎么选

半导体超净车间对空气中分子级污染物极其敏感，即使微量酸碱气体也可能影响晶圆良率。腐蚀性气体控制怎么做、化学滤料供应商怎么选，是半导体厂建厂和技改时的关键议题。

超净车间腐蚀性气体控制难点

超净车间通常位于厂区生产关键，外部空气和厂务工艺排气可能携带酸性气体（如氯气、二氧化硫）和碱性气体（如氨），这些分子级污染物一旦落到晶圆表面，会造成不可逆缺陷。车间对颗粒物已经有高效过滤，但对气态分子污染物控制常常薄弱；传统活性炭需要再生，更换周期长，难以满足超净车间连续生产要求，停机换料代价较高。

化学滤料供应商怎么选

翡尔达环保科技专注高效干式化学吸附技术研发与应用，DCA 系列十多种不同化学组成、不同粒径的专有配方，可针对酸性、碱性分子污染物分别选用，做到靶向吸附。对氯气去除率可达 95% 以上，对硫化氢去除率可达 99% 以上，对氨气去除率不低于 90%，覆盖超净车间常见腐蚀性气体。滤料失效后由专业公司定期更换，免脱附再生，不中断生产。

靶向配方与仪表监控

配合 Filta-DCHS 高效干式化学吸附系统，超净车间新风入口设置多层滤料叠层箱体，前置高效预过滤拦截颗粒物。箱体配滤层压差仪表和出口空气质量检测仪表，远程监控各段滤料状态。转轮除湿把进气相对湿度降到 75% 以下，避免高湿影响分子吸附，能耗比冷却除湿低 30%—50%。从化学滤料适用行业看，半导体超净车间是干式化学吸附的**场景。

不停产换料的意义

超净车间连续生产，任何停机换料都会造成晶圆损失。干式化学吸附滤料失效后由专业公司定期更换，Filta-DCHS 箱体设滤料添加口、卸料口，可在不停产状态下分层换料，不破坏车间洁净环境。对氯气去除率可达 95% 以上，对氨气去除率不低于 90%，更换前后出口空气质量连续监控，确保不影响良率。远程自动化监控各段滤料状态，换料计划提前排产。公司已通过 ISO9001 与 ISO14001 认证，质量体系适合高要求的半导体车间。

结语

超净车间气体控制不容有失，选择有电子工业净化经验的化学滤料供应商至关重要。翡尔达化学滤料在超净车间不停产换料中表现稳定，如需滤料选型或系统方案咨询，欢迎联系翡尔达环保科技。