OXY-GZ-XXX氧化锆微量氧变送器 产品及应用市场

一、产品概述

  OXY-GZ-XXX 系列是上海高传电子开发的氧化锆微量氧变送器，主要针对半导体、锂电等制造领域严苛低氧工况，实现氧气浓度连续在线监测。产品搭载进口氧化锆传感部件，传感器在空气中不会产生消耗，整机使用寿命可达 5 年以上。

  设备具备模拟量与 RS485 Modbus-RTU 双路信号输出，可直接对接 PLC、工控屏和上位机系统，实现工艺闭环控制。提供 KF40 真空法兰、1/8NPT 流通式两种安装结构，分别适配真空腔体和工业气路管道场景。产品全部性能指标以 20℃、50% RH、100kPa 大气压为标定基准，现场环境偏离该标准会产生小幅测量偏差。

  产品量程覆盖 0-100ppm 至 0-100% VOL，微量氧基础分辨率 0.1ppm，可选择 0.01ppm 高分辨率版本。采用 12-24VDC 宽压直流供电，T90 响应时间小于 10 秒，可以快速捕捉氧浓度的实时变化。

  型号编码为 OXY-GZ-XXX，三位编码分别对应安装方式、测量量程、模拟量输出，RS485 通讯为全型号标配。一位区分 KF40 法兰或者 1/8NPT 流通式安装；第二位对应不同氧气量程；第三位选择 4-20mA 或者 0-10V 模拟输出，也可根据实际需求向厂家申请非标量程和特殊分辨率定制。

  接线方面，蓝色为 24V 电源正极，白色接电源负极，红、绿对应模拟量信号正负，灰色、黄色分别为 RS485 的 A、B 线。通讯建议使用屏蔽线缆，远离

变频器、大功率电机，规避电磁干扰带来的信号异常。

  安装使用上，KF40 法兰版本需搭配 KF 卡箍与氟橡胶密封圈，严禁使用硅酮类密封材料，硅蒸汽会对氧化锆探头造成不可逆损伤，安装位置避开气流直吹。1/8NPT 流通式适合气路旁路安装，保障进气流量平稳，杜绝高压冲击探头。设备不可倒置安装，防止水汽聚集影响检测效果。

  设备通电 5 秒即可输出信号，普通工况预热 3 分钟可达到基础精度，微量氧高精度检测场景建议预热 5 分钟再采集数据。常规使用环境建议每年校准一次，气体杂质较多的恶劣工况建议每半年校准一次。

  该产品存在明确禁止使用工况，不能应用在氢气、甲烷等可燃气体，以及 HCl、HF 等腐蚀性酸性气体环境。介质绝压不可超过 200kPa，避免快速泄压和压力冲击，也不适合长期结露冷凝的环境，以上工况都会造成传感器不可逆损坏。

二、应用市场与行业场景

  随着国内制造国产化推进，微量氧在线监测的市场需求持续提升。半导体与锂电池新能源是该产品两大主要市场，同时覆盖高纯特种气体、真空工艺装备、特种工业密闭舱等多个领域，产品适用于惰性保护气氛、真空腔体、高纯气路的氧含量监测，不适用于燃烧烟气、还原性腐蚀工艺场景。

半导体行业

  半导体工艺腔室内微量氧超标，会引发晶圆氧化、薄膜缺陷，直接影响产品良率，氧含量是制程中需要重点监控的指标。 产品可用于外延设备、EFEM 设备前端模块、RTP 快速退火炉，也适配真空镀膜、CVD 各类工艺腔体，同时可对高纯氮气、氩气供气管路做在线监测，及时发现管路微泄漏。真空腔体场景优先选用 KF40 法兰型号，气体管道旁路则选择 1/8NPT 流通式。

锂电池新能源行业

  锂电的正极材料与电芯对氧气十分敏感，微量氧气侵入会造成材料氧化，带来电芯胀气、缩短循环寿命等问题，手套箱以及无水无氧生产制程对 ppm 级别的氧气检测有很强需求。 变送器主要应用于锂电手套箱内部氧浓度实时监控，锂电无水无氧制备密闭舱、注液工位保护气氛监测，也可用于惰性保护气供气管道的氧含量检测。

特种高纯气体行业

  用于高纯氮气、氩气制备以及输送管线的在线检测，安装在气体纯化设备后端做供气品质监控，快速识别管路微泄漏，保障高纯气体的使用标准。

真空工艺装备行业

  适配各类工业真空腔体、真空处理设备，依靠 KF40 真空法兰直接接入腔体内部，完成真空环境下氧气浓度的在线数据采集。

特种工业密闭舱行业

  可以在惰性气体保护焊接舱、工业密闭液冷保护舱中使用，实现舱体内低氧状态的持续监控。

三、产品市场价值

  传统电化学氧传感器在使用过程中存在消耗，普遍寿命只有 1-3 年，后期更换维护成本较高。OXY-GZ-XXX 氧化锆传感器在空气中无消耗，整机寿命更长，有效降低客户全周期运维成本。

  作为国产设备，产品性能可对标市面进口同类产品，供货周期短，并且可以提供本地化售后和定制化服务。双信号输出设计既满足传统产线 PLC 模拟量接入，也适配智能制造产线数字化 Modbus 通讯需求，兼容老产线改造和新项目建设。选型阶段需要确认现场工艺气体组分，避开禁止工况，防止传感器发生不可逆损坏。