化学滤料如何解决酸碱废气与AMC排放达标痛点

一、行业背景与痛点

半导体及电子洁净厂房在晶圆刻蚀、清洗、掺杂和光刻工序中，会使用并排放氯化氢、氟化氢、氨、酸碱蒸气以及异丙醇、显影液等挥发性有机物（VOCs）。这些酸性气体（Cl₂、HCl、HF）和碱性气体（NH₃）既可能在洁净室内形成分子级污染（AMC）影响良率，又须通过排风系统达标排放。电子工业大气污染物排放标准与大气污染物综合排放标准对酸碱废气、VOCs排放浓度有严格限值，厂界特征气体同样受监控。随着制程向先进节点演进，酸碱废气种类与排放量增加，末端治理的深度与稳定性面临更高要求。

二、干式化学滤料的主要作用

DCA系列干式化学吸附滤料针对半导体酸碱废气设计，亲水性多孔内核承载的反应剂对HCl、HF、Cl₂等酸性气体实施化学中和，对氨等碱性气体进行吸附固定，并对工艺VOCs提供化学捕集。废气穿过滤床后，酸性、碱性气态污染物转化为无害固态盐类，实现深度去除，既满足排风合规排放，又可在新风侧同时抑制AMC对产品的影响。

三、适配性分析

洁净厂房排风量大、温度适中、气体浓度相对稳定但腐蚀性强。DCA滤料耐酸碱规格与4米以上装填高度，可在排风竖井或屋顶风机单元中紧凑布置；常规工况压降低于500Pa，与洁净空调机组兼容，不影响送风压差平衡。相比单纯喷淋洗涤存在雾滴夹带与废水处理问题，干式化学滤料无液态夹带、可实现极低出口浓度，更契合精密制造对排放洁净度的要求。

四、技术实力与关键参数

翡尔达环保科技从加拿大引进先进滤料制造技术并自主研发，研制出十多种不同化学组成或粒径的DCA系列专有滤料。其对H₂S、Cl₂等污染成分饱和吸附能力不低于30%，整体去除效率不低于97%，确保酸碱废气出口满足行业与综合排放标准。比较大装填高度不低于4米，压降<500Pa，滤料机械强度高、不易板结坍陷、磨损率低、保存时间长，适配洁净厂房24小时连续运行。

五、应用价值与实践意义

将DCA滤料用于工艺排风末端精处理与新风AMC控制，可稳定削减酸性、碱性及VOCs排放，同时保护产品良率。该技术成果已在市政和工业废气净化工程中获得应用，为电子厂房环保合规与洁净生产双重目标提供支撑。

六、结语

半导体制造追求***洁净与合规。翡尔达环保科技以DCA系列滤料助力电子厂房实现酸碱废气稳定达标，为先进制程的绿色生产保驾护航。