高频振动一级校准-构建高精度、可溯源的振动校准能力

随着MEMS传感器、汽车电子、航空航天及精密测量技术不断发展，振动传感器的工作频率持续向高频方向延伸。传统比较法校准在高频段容易受到参考传感器稳定性、安装耦合及机械共振等因素影响。对于国家计量机构、高等级校准实验室及传感器研发单位而言，建立更加准确、稳定且可溯源的高频振动校准能力已成为重要需求。

SPEKTRA CS Q-LEAP™ P-SINE with SE-09***法高频振动校准系统，以激光干涉测量为量值基准，结合空气轴承高频振动台、HERO™振动控制与测量系统以及CS Q-LEAP™自动校准软件，可实现振动传感器灵敏度、幅值响应和相位响应的高精度校准。什么是***法振动校准？***法振动校准又称一次校准或原级校准，其**是通过激光干涉仪直接测量振动台面的位移和相位，并结合振动频率计算加速度。

在正弦振动条件下，加速度、频率与位移之间满足：

a＝(2πf)²x

其中，a为加速度，f为振动频率，x为振动位移。

这种方法不依赖同量级参考加速度计的灵敏度作为**终测量基准，可将振动加速度量值直接关联至长度和时间基准，建立更加清晰、可靠的量值溯源链。

系统可按照ISO 16063-11开展激光干涉***法振动校准，并可根据配置兼顾ISO 16063-21比较法振动校准及ISO 16063-41激光测振仪校准应用。SE-09：专为高频精密校准设计SE-09是SPEKTRA针对计量实验室、高频传感器校准及MEMS器件测试开发的空气轴承电动振动台。

其激振频率范围可覆盖5 Hz～50 kHz，配合CS Q-LEAP™ P-SINE系统，可在5 Hz～20 kHz范围内开展***法振动校准。对于更高频率的传感器特性研究，系统还可将振动激励能力扩展至50 kHz，具体可溯源范围和测量不确定度取决于**终配置及实验室能力。

SE-09采用空气轴承结构，有助于降低机械摩擦、机械噪声及横向运动，为高精度振动校准提供稳定的激励环境。

振动台采用高刚度陶瓷台面，表面耐刮擦并具有良好的激光反射性能，便于安装被校传感器和进行激光测量。其首阶纵向共振频率高于52 kHz，可降低工作频段内机械共振对校准结果的影响。满足高频传感器校准需求的激励能力SE-09具有出色的高频振动性能，主要指标包括：额定推力：100 N；比较大加速度：400 m/s²（40 gₙ，峰值）；比较大速度：0.5 m/s；比较大位移：7.5 mm峰—峰值；比较大有效载荷：350 g；工作方向：垂直；横向运动：典型值小于10%。SE-09内部集成BN-09 IEPE参考加速度计，灵敏度约为1 mV/(m/s²)，频率范围为3 Hz～50 kHz，幅值线性度小于0.25%。内置参考标准可用于振动状态监测，并为比较法校准及系统性能验证提供支持。HERO™：系统的控制与测量**HERO™振动控制与测量系统负责整个校准过程中的信号生成、数据采集、振动控制及测量计算。

系统通过功率放大器驱动SE-09产生稳定的正弦振动，同时同步采集激光测振仪、内置参考加速度计及被校传感器的输出信号，从而降低不同测量通道之间的时间偏差，提高幅值和相位测量的一致性。

HERO™采用模块化设计，可根据被校传感器类型配置相应的信号调理和测量模块，满足IEPE、压电、电压输出、压阻式及数字接口传感器等不同测试需求。CS Q-LEAP™：让复杂校准流程更加高效CS Q-LEAP™软件将设备控制、传感器管理、测量任务和校准结果集成在统一的软件平台中，使复杂的***法校准流程更加标准化和自动化。

系统可完成：被校传感器型号、序列号及历史数据管理；校准频点、振动幅值及测量方法设置；振动幅值闭环控制与自动测量；灵敏度、幅值响应及相位响应计算；校准数据调用、编辑和追溯；校准记录及证书自动生成；打印及PDF格式报告输出；与ERP系统或测量设备数据库进行数据交换。通过自动化任务管理，可以减少人工设置和重复操作，提高校准效率，并使不同操作人员执行的校准过程保持良好的一致性。***适用于计量、研发与质量控制SE-09***法高频振动校准系统可应用于：国家计量机构及高等级校准实验室；第三方计量检测机构；航空航天及**科研单位；汽车电子与智能驾驶传感器测试；MEMS传感器研发与质量控制；工业振动传感器生产企业；振动测量仪及振动校准器检测；激光测振仪校准与性能验证。系统能够覆盖PE、IEPE、电压输出、压阻式及数字接口传感器，并可根据被校对象和实验室能力进行针对性配置。从“可以测量”走向“准确溯源”SE-09***法高频振动校准系统不*是一套高频振动激励设备，更是一套涵盖振动产生、激光测量、同步采集、数据处理和证书输出的完整校准解决方案。

通过激光干涉***法、空气轴承高频振动台、HERO™控制与测量系统以及CS Q-LEAP™自动校准软件，用户可以建立更加准确、稳定、可复现和可管理的高频振动校准能力。

如需了解系统配置、校准范围、测量不确定度或实验室建设方案，欢迎联系DMA International／上海博禹嘉科技有限公司，我们将根据被校传感器类型、目标频率范围及计量能力要求，为您提供针对性的技术方案。