洁净室有哪些分类？从气流形态到受控粒子，一次说清楚

洁净室的发展与现代工业、技术密切相关。从精密机械加工到半导体制造，从宇航工业到原子能应用，洁净室已成为众多高科技产业不可或缺的基础设施。曾有统计显示，在无洁净级别要求的环境下生产MOS电路管芯，合格率*为10%~15%，64位储存器的合格率更是低至2%。由此可见，洁净室对现代工业的重要性不言而喻。

那么，洁净室究竟有哪些分类呢？下面从两个维度为您系统梳理。

一、按气流流动状态分类

根据气流的流动状态，洁净室主要分为以下三种类型：

1. 非单向流洁净室

非单向流洁净室，以前常称为“乱流型”洁净室，室内的气流并不都按单一方向流动。其共同特点包括：

终端过滤器（高效或亚高效）尽量接近洁净室，可以直接作为送风口或连接送风口，也可以接入房间的送风静压箱

回风口均设在洁净室的下部，目的是避免出现“扬灰”现象

非单向流洁净室中存在涡流，不适宜用于高洁净度的洁净室，宜用于6~9级的洁净室中。

2. 单向流洁净室

单向流洁净室的气流特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致。常见的类型包括：

垂直单向流洁净室

准垂直单向流洁净室

水平单向流洁净室

3. 矢量洁净室

矢量洁净室在房间的侧上角送风，采用扇形高效过滤器（也可用普通高效过滤器配扇形送风口），在另一侧的下部设回风口。房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室可以达到5级（100级）洁净度。

混合流型

在实际应用中，洁净室的流型可以演变出很多形式。例如，将单向流和非单向流组合在一起，在局部区域（单向流部分）实现高级别的洁净度。典型的例子是在洁净室中设水平单向流的“隧道”（一侧敞开），洁净室的其余部分为非单向流流型，从而使“隧道”部分达到5级以上洁净度，工作台就设在隧道内。

二、按受控粒子的性质分类

1. 工业洁净室

受控粒子为尘埃等非生物粒子。主要应用于精密机械、半导体、电子、光学、航天等工业领域。

2. 生物洁净室

受控粒子为生物粒子，如细菌、病毒、***孢子等。主要应用于医药制造、生物工程、医院手术室、食品加工等领域。

洁净室的分类，是选择合适洁净室方案的基础。不同的生产工艺、不同的洁净度要求、不同的受控粒子类型，对应着不同的洁净室形式。只有充分了解这些分类，才能做出**适合自身需求的选择。

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（本文由上海中湖洁净科技有限公司技术支持团队整理，内容*供行业交流参考。）