克力一体化精密恒温恒湿洁净系统守护先进制程良率

先进晶圆厂、光学精密产线虽配套高标准洁净室，车间温湿度通常控制在 ±2℃区间，可光刻、精密量测、Track 涂胶等设备对环境扰动极度敏感。人员走动、设备散热、气流微扰动带来的局部温湿度漂移，不会触发设备报警，却持续造成 CD 尺寸偏移、Overlay 对位偏差、光刻胶性能不均，长期拉低批量良率。全域洁净室解决 “能否生产”，设备专属微环境才是实现 “稳定量产” 的刚需。

01 克力一体化系统：洁净室内的超高精密微环境舱

克力一体化精密恒温恒湿洁净系统（IPCH-CACS）专为设备级 Mini Environment 打造，集成净化、控温、控湿、均流一体化模块，兼顾高洁净与温湿控制。 系统标配高精度控制规格：控温 ±0.01℃、控湿 ±1% RH；支持超高精密定制方案，温控比较高可达 ±0.001℃，控湿精度 ±0.2% RH，搭载分辨率 0.0001℃专业温度传感器，毫秒级捕捉微小温度变化。

02 优势：直击制造环控需求

稳控，抑制工艺漂移 自研智能预测调控算法，搭配高频传感采样，快速抵消外部热扰动、气流波动，消除设备周边温湿死角，从根源规避层间对位、图形一致性缺陷，稳定可靠。

洁净恒温一体，模块化灵活部署 内置 ULPA 超高效过滤，同时，模块化结构无需改造整厂洁净车间，落地周期短。

节能长效，降低产线运营成本 搭载冷凝热无级回收系统，变频负荷自适应调节，相比全域高精度洁净车间，大幅削减暖通能耗，兼顾精密控制与绿色生产。

03 应用场景：为高精度制造筑牢环境底座

适配半导体光刻 / 量测、先进封装、PCB LDI、光学镜头加工、计量校准实验室等场景。在原有洁净室基础上增设克力一体化精密恒温恒湿洁净系统，无需大规模厂房改造，即可稳定工艺参数、减少批次报废，成为先进制造拉开良率差距的关键配套装备。

结语

制造竞争早已不止设备硬件，环境波动控制能力是隐形竞争力。克力一体化精密恒温恒湿洁净系统，以稳定可靠环境方案，为各行业精密产线守住稳定生产底线，助力国产制造持续提质增效。