​上海慕共气体混配器助力“十五五”规划

上海慕共气体混配器助力“十五五”规划

响应国家“十五五”战略规划，打造高精度、高稳定性气体混配装备典范

背景介绍

在已披露“十五五”规划中“以配套技术升级支撑先进芯片产业化”的战略背景下，强调要提升我国半导体产业的全球竞争力。在半导体的生产封装测试环节中，依赖于气体混配器的高精度控制。

气体混配器扮演着至关重要的角色：它能精确地制备和供应特定组分和浓度的混合气体，以满足不同工艺流程对气氛环境的严苛要求，其性能直接关系到半导体的质量、良率和可靠性。

上海慕共实业有限公司响应国家号召，依托欧洲先进技术提供量身定制的气体应用解决方案，助力提升半导体产能。

一、产品优势与数字化智能赋能

1、高精度混配：保障生产效率和产品质量的基础

在半导体行业中，气体混配器的精度是关键技术指标——上海慕共的气体混配器可达到±0.5%的精度，直接关系到芯片生产的良率、性能与成本。

经实际使用验证，该气体混配器能使单位气体控制成本降低25%-30%。

此外，ZTGAS气体混配器还搭载了双路混合器出口控制系统，实现“一用一备”两路同时供应：在确保气体比例稳定的前提下，可灵活应对客户产能的波峰波动，保障生产连续性。

2、物联网智能远程控制：夯实数字基础设施

上海慕共实业聚焦客户特殊需求，设计了完善的气体控制系统解决方案，其中重点为公司自主研发的物联网智能控制系统，具备以下功能：

实时监测：通过手机APP实时查看气体混配设备运行状态，准确显示流量、压力、混合气比例、阀门运行状态等关键数据；

数据追溯：支持实时调阅、追溯历史运行数据，且可下载存档；

故障预警与排障：具备故障自动报警功能，工程师可通过远程监控快速定位问题并排除故障，大幅提升设备运行效率与稳定性。

二、助力半导体行业与“十五五”先进制造品质升级

1、连接半导体制造关键工艺，全链条自主可控

ZTGas气体混配器是链接“沉积-刻蚀-清洁-退火-封装-测试”半导体生产全产业链的关键气体供应环节，其价值体现在：

产能保障：提升晶圆制造、芯片封装测试环节的稳定产能；

国产化推动：助力半导体制造工艺的国产化替代进程；

技术自主：通过气体混配系统的智能升级，带动半导体装备配套技术的自主可控发展，为我国先进芯片产业化提供底层、可靠的技术支撑与产能保障。

2、提升半导体芯片制造品质，深度融合与赋能

ZTGas气体混配器的应用从关键工艺环节保障芯片品质与生产安全，具体成效包括：

良率提升：有效降低废品率，使用后芯片焊接点氧化率降低超90%、退火工艺硅片漏电率下降30%，保障芯片性能的稳定性与一致性；

安全防护：实时监测气源压力，自动切断异常混合气输出——既避免错误气体成分进入生产线引发设备故障，也防止氢气泄漏等风险，保障半导体工厂的生产连续性。

结语

上海慕共实业通过深入了解封装测试企业的工艺特性，提供量身定制的配气方案：从设备选型、管路设计到现场调试全程参与，确保混合气体输送的准确性与稳定性。

在车规芯片封装场景中，上海慕共的混配系统通过稳定输出准确比例的保护气体，助力客户将芯片封装良率提升5个百分点以上。这一性能突破正好响应“十五五”规划中“以配套技术升级支撑先进芯片产业化”的政策导向，为车规、AI等先进芯片量产提供了可靠保障。