高效过滤器检漏的具体流程是什么？

高效过滤器检漏的具体流程如下：

1. 准备工作：

   - 环境确认：确保检测环境符合要求，一般温度控制在18℃到26℃之间，相对湿度控制在45%至65%之间。同时，洁净室的压差要符合标准，例如不同洁净度房间之间、干净区与非干净区之间的静压差应分别达到相应要求。如果是静态测试，室内测试人员不得多于2人。

   - 仪器校准和清洁：使用的气溶胶光度计等检测仪器需在校验有效期内，并进行初始化和校准，设定好相关的参数及报警值。另外，对高效过滤器的箱体或框架的外表面进行清洁，避免积尘对检测产生干扰。

   - 关闭相关设备：关闭洁净室（区）的防火报警装置等可能会对检测产生干扰的设备。准备好检测计划和相应的检测记录表格。

2. 产生气溶胶：

   - 选择合适的引入位置：对于 HVAC 系统中的高效过滤器，为使气溶胶到达高效过滤器时的浓度均匀，可将气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入；若从风管中引入，则应在距高效过滤器至少10倍风管直径处引入，并尽量减少拐弯。对于层流罩、超净台上的高效过滤器，气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入。

   - 连接气溶胶发生器：将气溶胶发生器与供气设备（如氮气瓶）连接好，按照发生器的操作要求进行设置，使气溶胶发生器产生稳定的气溶胶。

3. 调节气溶胶浓度：

   - 测量上游浓度：将上游采样管与上游采样口相连，使用气溶胶光度计测量上游气溶胶的浓度。

   - 调整浓度至合适范围：按照气溶胶发生器的操作要求调节发生的气溶胶浓度，使上游气溶胶浓度达到10-20μg/ml。在调节过程中，要不断监测浓度，确保其稳定在要求范围内。

4. 扫描检漏：

   - 卸下散流板：小心卸下高效过滤器的散流板，以便对过滤器的各个部位进行多方面检测。

   - 开始扫描：用气溶胶光度计的采样头对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约2.54cm（1英寸），扫描速度不超过5cm/s，扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。

   - 记录数据：检测过程中，随时注意观察并记录采样头或光度计面板上的读数。若有报警声（即泄漏率超过0.01%），表明有泄漏，需标记出泄漏位置。

5. 结果判定及处理：

   - 合格判定：若高效过滤器在检测过程中，所有点的泄漏率都不超过0.01%，则判该高效过滤器合格。

   - 不合格处理：如果有一处泄漏率超过0.01%，则判为不合格，并将该点标记出来。对于泄漏处，若单个泄漏处的面积不大于总面积的1%，全部泄漏处的面积不大于总面积的5%，可以用胶水修补；否则，必须更换高效过滤器。

6. 检测后整理：检测完成后，关闭气溶胶发生器和相关设备，清理检测现场，将检测仪器妥善存放。对检测结果进行总结分析，形成检测报告，记录检测的相关信息，如检测时间、检测地点、高效过滤器的型号、检测结果等。