激光干涉仪组件:要测量线性轴的定位精度、重复定位精度和反向间隙等数据,需要使用激光测量系统的以下组件,主要有:XL激光头、三脚架和云台、XC环境补偿单元、空气温度传感器和材料温度传感器、线性测量光学镜组、光学镜安装组件及安装激光测量软件的计算机。激光干涉仪工作原理多普勒效应(DopplerEffect):任何形式的波传播,都是由于波源、传播介质或中间反射器的运动,会使频率发生变化的现象。这种因多普勒效应所引起的频率变化称为多普勒偏移或频移(DopplerShift),其频移大小与介质、波源和观察物的运动有关。激光干涉仪可以进导轨的动态特性分析等。苏州数控机床公差激光干涉仪维护
激光干涉仪原理:激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。成都数控校准激光干涉仪安装激光干涉仪可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等在线位置测量。
虽然激光干涉仪安装组件比较齐全,但在实际使用过程中还是需要另外配置一些辅助工具:研制低高度云台支架。部分机床工作台高度与地面是基本相平的,那么测量Z轴时,如果使用激光干涉仪原装三角架及云台安放激光器于地面,则肯定会因为三角架本身的高度,损失测量范围。磁性表座是激光干涉仪常用的辅助工具,选择时需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安装镜组安装杆,主磁性吸面位于底面和侧面的表座各选择两个(实验室或工厂多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在测量时,往往侧面吸的表座更利于激光干涉仪镜组的安装。
激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的一种计量测试方法,是公认的高精度、高灵敏度的检测手段,在制造领域应用普遍。激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,为机床误差修正提供依据。激光干涉仪有测速下分辨率高、测量范围大等优点。
激光干涉仪使用注意事项:1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。2、在移动仪器时,为防止导轨变形,应托住底座再进行移动。3、仪器的光学零件在不用时,应在清洁干燥的器皿中进行存放,以防止发霉。4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等,如必须擦拭则应当小心擦拭,利用科学的方法进行清洁。5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件,应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况,合理恰当的调整部件。7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆,保持其不失油。影响激光干涉仪测量精度的因素包括:测量读数软件系统带来的误差。杭州数控轴垂直度激光干涉仪厂家有哪些
激光干涉仪在位移传感器检定中的应用已成为一大发展趋势。苏州数控机床公差激光干涉仪维护
数控机床维修是一项集计算机、自动控制、自动检测和电机拖动等于一体的技术,需要数控机床维修人员掌握大量的专业知识和丰富的数控机床维修经验。因此,在日常数控机床维修中,如何尽快的找到故障原因并排除故障,提高设备完好率,是数控机床维修人员的首要任务。当出现机床精度异常、零件表面质量变差等问题时,就需要借助一些先进的精度检测仪器。激光干涉仪作为数控机床精度常用的检测工具,能对数控机床进行线性测量、直线度测量、平面度测量、角度测量、回转轴分度精度等进行测量。苏州数控机床公差激光干涉仪维护