浙江数控轴几何参量激光干涉仪维修

利用激光干涉仪的线性测长功能，不但能够测量出数控机床的定位精度、重复定位精度和反向间隙等数据并对精度进行补偿。还能帮助我们利用检测图形和数据，来分析数控机床出现故障的原因及解决办法，从而迅速恢复机床，缩短数控机床维修时间，提高数控机床维修的效率。激光干涉仪是根据光学干涉基本原理设计而成的。具体到API激光干涉仪，即激光器射出单一频率波，当此光束抵达偏振分光镜时，会被分为两道光束(一道反射光束和一道投射光束)，在这两道光射向其反光镜，然后透过分光镜反射回去，在激光头内的探测器形成一道干涉光束，若光程差没有任何变化，探测器会在每一次光程改变时，在相长性和相消性干涉的两极找到变动的信号。计算处理系统可以通过此变化来测量两光程间差异变化。激光干涉仪配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、平行度和垂直度等测量工作。浙江数控轴几何参量激光干涉仪维修

激光干涉仪以干涉技术为关键，其光波可直接对米进行定义。可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；支持手动或自动进行环境补偿。软件强：友好的人机界面；丰富的应用功能模块；向导式的操作流程；简洁化的记录管理；支持中文、英文和俄文界面；支持企业专属模板定制。精密仪器校准激光干涉仪定制激光干涉仪的光源——激光。

激光干涉仪laserinterferometer以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。激光具有高的强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平。常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量、回转精度测量、平行度测量和小角度测量。

激光干涉仪的测量精度高：以激光干涉技术为关键，分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。

激光干涉仪常见故障及解决方法：开机无显示：1、是否接上电源打开开关。2、显示器是否切换到BNC模式。视场不完整：1、标准镜头是否旋到位。2、标准镜头星点是否与寻星窗口中间的黑点重合。高度调节不明显：检查高度调节旋钮是否锁紧。干涉条纹暗：调节干涉仪上的亮度调节旋钮。干涉条纹乱：检查标准镜头与被测透镜表面是否干净。被测镜片星点像找不到：调整镜片的中心，看镜片是否放置的倾斜。条纹亮暗闪动：调节标准镜头的圆形图像。激光干涉仪常配合笔记本电脑使用。机床校准激光干涉仪维护

用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测。浙江数控轴几何参量激光干涉仪维修

多功能激光干涉仪：主要适用于测量光脉冲、电脉冲以及磁脉冲的信号，如测量光强和电压随时间变化的波形。因为它的响应速度极快，是微微秒(Ps)量级。所以，它非常适用于超快变电场和超短光脉冲信号变化的测量。已有技术主要有两个方面。一是普通干涉仪，如一九八七年机械工业出版社出版的“剪切干涉仪及其应用”一书中描述的干涉仪，可用来做多样的测量工作，但它既不能像示波器一样示波显示电信号的波形，也不能示波显示光信号、磁信号的波形。虽然能示波显示电信号和光信号的波形，但不能示波显示其他如磁信号的波形等。而且，这些测量系统内不含有干涉系统。浙江数控轴几何参量激光干涉仪维修