山西专业激光干涉仪

激光干涉仪的应用：1、几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。2、器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可蕞大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到蕞佳精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。3、数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在，利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。比传统用自准直仪和多面体的方法不只节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾。山西专业激光干涉仪

数控机床的传动机构一般是滚珠丝杆副，滚珠丝杆副在生产制造和装配过程中都存在一定误差，且长期使用造成的磨损等因素都会使其精度下降，当前为有效且普遍应用的方法是利用激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿。数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿（值）与记忆式螺距误差补偿（增量值）两种，三菱和法那科系统就是增量值补偿的表示之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时，会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。机床系统种类繁多，正逐步向自动补偿迈进。山西专业激光干涉仪激光干涉仪的测量精度高：以激光干涉技术为关键。

激光干涉仪的维护：仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动时，应托住底座，以防导轨变形。2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精混合液轻拭。传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。

激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、比较高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在制造领域应用普遍。激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等。

激光干涉仪在实际使用中，需要确认其在各个测量应用中能够达到的真实精度水平以确保测量数据准确可靠。激光干涉仪的测量读数Z终均与激光波长有关，因此激光器频率的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保障。此外，激光干涉仪的环境条件补偿系统(压力、温湿度传感器)的读数准确性对Z终的测量精度有着重要的影响。总结起来，影响激光干涉仪测量精度的因素包括：①激光器频率(波长)及频率稳定性;②测量读数软件系统带来的误差;③反射镜、角锥棱角误差;④温湿度、压力传感器误差;当然，在具体测量任务中的测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。虽然激光干涉仪安装组件比较齐全，但在实际使用过程中还是需要另外配置一些辅助工具。山西专业激光干涉仪

激光干涉仪的应用：几何精度检测。山西专业激光干涉仪

激光干涉仪原理：激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。山西专业激光干涉仪