激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器,其光波可以直接对米进行定义,可溯源至国家标准。但是我们在使用中往往会出现检测偏离值,偏离我们的预估,以至于在高精度检测时,对设备产生怀疑。因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差,因此光学镜组与运动轴偏置距离越远,引起的阿贝误差越大。环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息,基于Edlen公式计算空气折射率,以此对激光波长进行补偿。激光干涉仪可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等在线位置测量。湖南精密激光干涉仪加工生产

激光干涉仪使用技巧;Z轴激光光路快速准直方法:用激光干涉仪进行线性测量时,Z轴测量时激光光路的准直相对X、Y轴准直来说,要困难的多。尤其是在Z轴距离较长的情况下,要保证激光光束经反射镜反射后回到激先探测器的强度满足测量对对光强的要求,准直激光光路往往需要很长时间。Z轴激光光路快速准直方法具体调整方法如下:Z轴置于低处,利用激光器外壳中部的瞄准槽,正对Z轴放置分光镜,左右移开Z轴,观察激光光路,保证激光转向后大致平行于Z轴,左右移回Z轴放置线性反射镜及光靶(可以盖在反射或分光镜上以帮助入眼瞄准及控制光路的靶),激光打在反射镜光靶上。安徽英国雷尼绍XL-80激光干涉仪加工生产激光干涉仪使用注意事项:在移动仪器时,为防止导轨变形,应托住底座再进行移动。

激光干涉仪初步调整后,它的固定分光镜并在分光镜上安装光靶,通过“整体”调整精确瞄准光靶后,取下分光镜光靶,将Z轴升高,观察激光在反光镜光靶上偏离程度,同时透过“尾部”调整使激光对准反光镜光靶,若在此过程中因“尾部”的调整导致分光镜遮挡了部分激光,则将Z轴停止上升回到起始处,重新调整“整体”,再次对准反射镜光靶。紧接着再升Z轴,继续调整“尾部”,观察激光在反光镜光靶上偏离程度。重复整个过程,往往几次即可达到准直要求。
激光干涉仪以光波为载体,具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、比较高测速下分辨率高等特点,其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此,激光干涉仪普遍应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域。激光干涉仪结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件的配合下,激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。激光干涉仪使用注意事项:如必须擦拭则应当小心擦拭,利用科学的方法进行清洁。

激光干涉仪以干涉技术为关键,其光波可直接对米进行定义。可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;支持手动或自动进行环境补偿。软件强:友好的人机界面;丰富的应用功能模块;向导式的操作流程;简洁化的记录管理;支持中文、英文和俄文界面;支持企业专属模板定制。激光干涉仪的光源——激光。济南显微式激光干涉仪
对激光干涉仪要小心轻放,避免强烈的冲击震动。湖南精密激光干涉仪加工生产
激光干涉仪的应用:1、几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。2、器的误差,而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿,比通常的补偿方法节省了大量时间,并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差,同时可蕞大限度地选用被测轴上的补偿点数,使机床达到蕞佳精度,另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。3、数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在,利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置,以任意角度间隔进行全自动测量,其精度达±1。比传统用自准直仪和多面体的方法不只节约了大量的测量时间,而且还得到完整的回转轴精度曲线,知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。湖南精密激光干涉仪加工生产