双频激光干涉仪:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为只含有f1的光束,另一路成为只含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来只含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。激光干涉仪有单频的和双频的两种。机床校准激光干涉仪销售

激光干涉仪初步调整后,它的固定分光镜并在分光镜上安装光靶,通过“整体”调整精确瞄准光靶后,取下分光镜光靶,将Z轴升高,观察激光在反光镜光靶上偏离程度,同时透过“尾部”调整使激光对准反光镜光靶,若在此过程中因“尾部”的调整导致分光镜遮挡了部分激光,则将Z轴停止上升回到起始处,重新调整“整体”,再次对准反射镜光靶。紧接着再升Z轴,继续调整“尾部”,观察激光在反光镜光靶上偏离程度。重复整个过程,往往几次即可达到准直要求。科研开发激光干涉仪品牌可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析。

激光干涉仪的维护:仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动时,应托住底座,以防导轨变形。2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精混合液轻拭。传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分,应用T5精密仪表油润滑。使用时,各调整部位用力要适当,不要强旋、硬扳。导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀,用毕后,仍保持不失油状态。
影响激光干涉仪测量精度的因素包括:①激光器频率(波长)及频率稳定性;②测量读数软件系统带来的误差;③反射镜、角锥棱角误差;④温湿度、压力传感器误差;当然,在具体测量任务中的测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。激光干涉仪在实际使用中,需要确认其在各个测量应用中能够达到的真实精度水平以确保测量数据准确可靠。激光干涉仪的测量读数Z终均与激光波长有关,因此激光器频率的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保障。此外,激光干涉仪的环境条件补偿系统(压力、温湿度传感器)的读数准确性对Z终的测量精度有着重要的影响。用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测。

激光干涉仪使用技巧;Z轴激光光路快速准直方法:用激光干涉仪进行线性测量时,Z轴测量时激光光路的准直相对X、Y轴准直来说,要困难的多。尤其是在Z轴距离较长的情况下,要保证激光光束经反射镜反射后回到激先探测器的强度满足测量对对光强的要求,准直激光光路往往需要很长时间。Z轴激光光路快速准直方法具体调整方法如下:Z轴置于低处,利用激光器外壳中部的瞄准槽,正对Z轴放置分光镜,左右移开Z轴,观察激光光路,保证激光转向后大致平行于Z轴,左右移回Z轴放置线性反射镜及光靶(可以盖在反射或分光镜上以帮助入眼瞄准及控制光路的靶),激光打在反射镜光靶上。激光干涉仪的光源——激光。郑州仪器校准激光干涉仪
激光干涉仪具有有平面度测量组件、直线度测量组件、垂直度测量镜组、激光器准直辅助镜等等。机床校准激光干涉仪销售
Z轴激光光路快速准直方法具体调整方法如下:Z轴置于低处,利用激光器外壳中部的瞄准槽,正对Z轴放置分光镜,左右移开Z轴,观察激光光路,保证激光转向后大致平行于Z轴,左右移回Z轴放置线性反射镜及光靶(可以盖在反射或分光镜上以帮助入眼瞄准及控制光路的靶),激光打在反射镜光靶上。激光干涉仪初步调整后,固定分光镜并在分光镜上安装光靶,通过“整体”调整精确瞄准光靶后,取下分光镜光靶,将Z轴升高,观察激光在反光镜光靶上偏离程度,同时透过“尾部”调整使激光对准反光镜光靶,若在此过程中因“尾部”的调整导致分光镜遮挡了部分激光,则将Z轴停止上升回到起始处,重新调整“整体”,再次对准反射镜光靶。机床校准激光干涉仪销售