激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪的光源——激光,具有强度较高、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性。设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器。同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角。可选的无线遥控传感器比较长的控制距离可到25米。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、平行度和垂直度等测量工作。江苏小型激光干涉仪
激光干涉仪是以激光波长为长度计量基准的高精度测量仪器,随着双频激光干涉仪的出现,因其具有性能稳定、检测精度高及数据可靠性好等优点,已成为高精密机械生产中校准及补偿的标准仪器,在机械制造、金属切削加工及航空航天等领域得到了普遍的应用。激光干涉仪有单频和双频之分,单频激光干涉仪受环境因素影响较大,一般用于特定环境的实验室。双频激光干涉仪应用频率变化来测量位移,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,抗干扰能力强,普遍应用于各种工况下。成都数控设备定位精度激光干涉仪厂家激光干涉仪为数控机床的误差修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。
激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。“干涉法”是一种利用波(通常是光波、无线电波或声波)干涉现象的测量方法。测量可以包括波本身的某些特性以及波与之相互作用的材料。激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、较高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、较高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
激光干涉仪以干涉技术为关键,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。功能广;可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;可实现龙门机床双轴同步测量;可实现对机床回转轴的测量与校准。激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度进行测量。
激光干涉仪辅助工具的选择:虽然激光干涉仪安装组件比较齐全,但在实际使用过程中还是需要另外配置一些辅助工具:①研制低高度云台支架;部分机床工作台高度与地面是基本相平的,那么测量Z轴时,如果使用激光干涉仪原装三角架及云台安放激光器于地面,则肯定会因为三角架本身的高度,损失测量范围。②选择磁性表座;磁性表座是激光干涉仪常用的辅助工具,选择时需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安装镜组安装杆,主磁性吸面位于底面和侧面的表座各选择两个(实验室或工厂多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在测量时,往往侧面吸的表座更利于激光干涉仪镜组的安装。用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测。成都数控设备定位精度激光干涉仪厂家
激光干涉仪在位移传感器检定中的应用已成为一大发展趋势。江苏小型激光干涉仪
激光干涉仪:误差影响精确度:大气折射率。激光频率稳定性:在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。余弦误差:在测定三坐标测量机的定位误差时,需仔细调整,使光束与滑座的运动方向平等。死程误差:在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差,这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差,死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。细分误差:在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。江苏小型激光干涉仪