激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具,可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线,为数控机床的误差修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能,可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。激光干涉仪可以进导轨的动态特性分析等。浙江激光干涉仪供应商
激光干涉仪是激光在计量领域中比较成功的应用之一。利用光的干涉实现测量,具有非接触、无损检测的特点,已经在各个不同领域得到普遍的应用。现代激光干涉技术是在人类关于光学的几乎全部知识的基础上发展起来的。激光与普通光源相比,具有一些独特的性质:单色性好、相干性好、方向性强、亮度高。激光干涉仪是以激光波长为已知长度,利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量,普遍应用于各领域,已经成为人类认知世界的重要工具。由于激光具有极好的时间相干性,自问世以来,已研制出多种激光干涉仪:单频激光干涉仪、激光干涉仪、半导体激光干涉仪、法布里-珀罗(f-p)干涉仪、x射线干涉仪等。四川数控轴几何参量激光干涉仪加工生产影响激光干涉仪测量精度的因素包括:反射镜、角锥棱角误差。
激光干涉仪的主要特点:测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角。设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器。可选的无线遥控传感器比较长的控制距离可到25米。可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性。全套系统重量只15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架。集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间。激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。
激光干涉仪是利用激光作为长度基准,对数控设备(加工中心、三座标测量机等)的位置精度(定位精度、重复定位精度等)、几何精度(俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等)进行精密测量的精密测量仪器。激光干涉仪的信号交流信号,因而对于激光干涉仪来说,可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大,这样,即使光强衰减90%,依然可以得到合适的电信号。激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等,也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
激光干涉仪在位移传感器检定中的应用已成为一大发展趋势,其特点是测量精度快、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨,将反射镜同被测传感器放在一起同步检测,从而形成对比,位移传感器自动检定系统与HP干涉仪对定位移进行测试对比,得出往复测试实验结果。激光干涉仪除了可以用来测量长度以外,如果配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。影响激光干涉仪测量精度的因素包括:激光器频率(波长)及频率稳定性。四川数控轴平行度激光干涉仪厂家供应
激光干涉仪的使用注意事项:他人不得随意动用,以防损坏,降低精度。浙江激光干涉仪供应商
激光干涉仪:误差影响精确度:大气折射率。激光频率稳定性:在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。余弦误差:在测定三坐标测量机的定位误差时,需仔细调整,使光束与滑座的运动方向平等。死程误差:在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差,这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差,死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。细分误差:在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。浙江激光干涉仪供应商