数控机床的传动机构一般是滚珠丝杆副,滚珠丝杆副在生产制造和装配过程中都存在一定误差,且长期使用造成的磨损等因素都会使其精度下降,当前为有效且普遍应用的方法是利用激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿。数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿(值)与记忆式螺距误差补偿(增量值)两种,三菱和法那科系统就是增量值补偿的表示之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时,会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。机床系统种类繁多,正逐步向自动补偿迈进。激光干涉仪可以进驱动系统的响应特性分析。山西激光干涉仪品质保障
激光干涉仪引力波探测器对光学镜的要求:(1)体积和重量;激光干涉仪引力波探测器的臂长一般为千米量级,由于光束传播过程中的发散,光斑变大。为了避免边缘效应光学镜的直径都比较大,如LIGO镜子的直径是25cm。由于辐射压力噪声与镜子的质量成反比,为了降低这种噪声提高它的灵敏度,镜子的质量一般为20kg左右。(2)热传导及热噪声;当激光干涉仪引力波探测器运行时,臂上法布里-珀罗腔内的激光功率非常强,例如高级LIGO达到800kW以上,因此,镜子要有很好的散热性,而且镜子内部不能有结构上的缺陷。为减小由于局部发热而产生的热噪声和避免镜面的热损伤,镜子材料一般为熔硅。山西激光干涉仪品质保障激光干涉仪有数控机床动态性能检测的应用。
多功能激光干涉仪,适用于测量光脉冲、电脉冲、磁脉冲和超快变电场以及超短光脉冲信号的变化。它含有超短脉冲发射光源、双脉冲形成装置、扩束器、微分时间延迟器、聚焦系统、干涉系统、转换元件、干涉条纹和接收处理显示系统、被测信号接口、同步装置和补偿元件。具有时间分辨率精度高、响应速度快、用途广,可以实时测量的优点。多功能激光干涉仪由十一部分构成:超短脉冲发射光源1、双脉冲形成装置2、扩束器3、微分时间延迟器4、聚焦系统5、干涉系统6、转换元件7、干涉条纹的接收处理显示系统8、被测信号接口9、同步装置10和补偿元件11。其中,转换元件7在干涉系统6的一个臂的光路A中,补偿元件11是在干涉系统6的另一个臂的光路B中。
激光干涉仪;光的干涉:光具有波粒二象性。两列或几列光波在空间相遇时相互迭加,在某些区域始终加强,在另一些区域则始终削弱,形成稳定的强弱分布的现象。产生稳定干涉的条件:只有两列光波的频率相同,位相差恒定,振动方向一致的相干光源,才能产生光的稳定干涉。由两个普通独特光源发出的光,不可能具有相同的频率,更不可能存在固定的相差,因此,不能产生稳定干涉现象。若光的振幅相等:相位角相同时,复合光强为原先的2倍,产生明条纹。当相位角相差180º(半个波长)时,复合光强为0,产生暗条纹。激光干涉仪要设置专库存放,环境要求干燥、通风、防震、防雾。
激光干涉仪在位移传感器检定中的应用已成为一大发展趋势,其特点是测量精度快、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨,将反射镜同被测传感器放在一起同步检测,从而形成对比,位移传感器自动检定系统与HP干涉仪对定位移进行测试对比,得出往复测试实验结果。激光干涉仪除了可以用来测量长度以外,如果配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。激光干涉仪的测量精度高:以激光干涉技术为关键。苏州高精度测量激光干涉仪厂家直销
激光干涉仪在机床中的应用是其它传统测量手段难以实现和替代的。山西激光干涉仪品质保障
激光干涉仪:误差影响精确度:大气折射率。激光频率稳定性:在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。余弦误差:在测定三坐标测量机的定位误差时,需仔细调整,使光束与滑座的运动方向平等。死程误差:在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差,这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差,死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。细分误差:在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。山西激光干涉仪品质保障