激光干涉仪原理:激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。激光干涉仪是一种高精度位移传感器。辽宁位移传感器激光干涉仪
激光干涉仪初步调整后,它的固定分光镜并在分光镜上安装光靶,通过“整体”调整精确瞄准光靶后,取下分光镜光靶,将Z轴升高,观察激光在反光镜光靶上偏离程度,同时透过“尾部”调整使激光对准反光镜光靶,若在此过程中因“尾部”的调整导致分光镜遮挡了部分激光,则将Z轴停止上升回到起始处,重新调整“整体”,再次对准反射镜光靶。紧接着再升Z轴,继续调整“尾部”,观察激光在反光镜光靶上偏离程度。重复整个过程,往往几次即可达到准直要求。辽宁位移传感器激光干涉仪激光干涉仪有测速下分辨率高、测量范围大等优点。
多功能激光干涉仪,适用于测量光脉冲、电脉冲、磁脉冲和超快变电场以及超短光脉冲信号的变化。它含有超短脉冲发射光源、双脉冲形成装置、扩束器、微分时间延迟器、聚焦系统、干涉系统、转换元件、干涉条纹和接收处理显示系统、被测信号接口、同步装置和补偿元件。具有时间分辨率精度高、响应速度快、用途广,可以实时测量的优点。多功能激光干涉仪由十一部分构成:超短脉冲发射光源1、双脉冲形成装置2、扩束器3、微分时间延迟器4、聚焦系统5、干涉系统6、转换元件7、干涉条纹的接收处理显示系统8、被测信号接口9、同步装置10和补偿元件11。其中,转换元件7在干涉系统6的一个臂的光路A中,补偿元件11是在干涉系统6的另一个臂的光路B中。
激光干涉仪的主要特点:测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角。设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器。可选的无线遥控传感器比较长的控制距离可到25米。可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性。全套系统重量只15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架。集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间。激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。激光干涉仪使用注意事项:尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等。
激光干涉仪在立式配置下,样品的放置,夹持和调整更方便,提高了测试效率。立式架构整机占地更小;整个干涉腔,处于稳定的框架结构下,这样对抗振要求更低,可省去昂贵和庞大的抗震平台。立式配置对于某些特殊应用的特殊优势,比如高精度曲率半径测量,大口径平面样品的拼接测量。对于很多超高精度测量,要求样品表面保持和工作状态一致的条件下测量。工业现场测试环境下,立式配置下,样品的夹持放置,更有效率,更加稳定。在某些应用场合,基于测试效率,样品夹持,测试方式或精度的要求,立式配置会更有优势。激光干涉仪有哪些种类?东莞激光干涉仪厂家直销
激光干涉仪使用注意事项:导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件,应当保持良好的润滑。辽宁位移传感器激光干涉仪
激光干涉仪是利用激光作为长度基准,对数控设备(加工中心、三座标测量机等)的位置精度(定位精度、重复定位精度等)、几何精度(俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等)进行精密测量的精密测量仪器。激光干涉仪以光波为载体,具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、测速下分辨率高等特点,其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此,激光干涉仪普遍应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域。辽宁位移传感器激光干涉仪